SEM扫描电子显微镜知识.doc

SEM扫描电子显微镜知识 导读：就爱阅读网友为您分享以下“SEM扫描电子显微镜知识”的资讯，希望对您有所帮助，感谢您对92的支持! 元素分析的基础 X射线的产生 图49 特征X射线的产生原理 如前所述，当电子射入物质后，从物质表面会发射出各种电子、光子及X射线等电磁波。如图49所示，由于入射电子的作用，内层电子处于激发态，外层电子向内跃迁填补有空位的轨道时，会产生等同于能量差的X射线，这就是特征X射线。 由于X射线具有元素特有的能量（波长），通过对X射线的检测，能够进行元素分析。K层的电子被激发释放出的特征X射线被称为K线系，L层、M层被分别称为L线系、M线系。越是重元素特征X射线的能量越大，这是因为激发时需要高能入射电子。另一方面，入射电子被原子核减速时产生的X射线被称为连续X射线或者轫致辐射X射线。 X射线分光谱仪 ● EDS的分光原理 能谱仪（Energy Dispersive X-ray Spectrometer：EDS）是通过测试X射线的能量分析特征X射线谱的装置。如图50所示X射线进入半导体检测器后，会产生一定数目的、相当于X射线能量的电子－空穴对，测试其数量（电流）就可以知道X射线的能量，为了减少检测器的电气噪音，需用液氮等进行冷却，从Ｂ～Ｕ的X射线能够同时测试是EDS的特征。图51是通过EDS获得的谱图，横轴为X射线的能量值，纵轴为X射线的计数率。 13 图50 EDS半导体检测器的结构 ●WDS的分光原理 图51 EDS谱图实例 图52 WDS的分光原理 波谱仪(Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer ：WDS)是通过测试X射线的波长分析特征X射