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气体保压测试报告： 保压测试报告 客户名称 机台名称 Furnace 13# 17# 检测项目 　 检测 检测者 设计规范 平均工作压力 ㎏/㎝2 保压试验压力 ≧㎏/㎝2 试验气体 氮气 结束压力值 压力值 ＝ ㎏/㎝2 判定 　 业主代表 主管 　 　 　 Moisture含量测试报告：Moisture含量测试报告 客户名称 机台名称 　F 检测项目 　 检测 检测者 　 检测装置 试验气体 氮气 合格标准 ≦ PPb 结果 判定 　 业主代表 测试者 　 　 　 微O2含量测试报告： 微O2含量测试报告 客户名称 机台名称 　 检测项目 　 检测 检测者 　 检测装置 试验气体 氮气 合格标准 ≦ PPb 检测点 　 结果 判定 　 业主代表 主管 证明人 　 　 　 Particle测试报告： Particle测试报告 客户名称 机台名称 　F 检测项目 检测 检测者 　 检测装置 　 试验气体 氮气 合格标准 μm ≦ 1 PCS/CU.FT 检测点 N2 　O　H　 结果 　　　　 PCS/CU.FT PCS/CU.FT PCS/CU.FT PCS/CU.FT 判定 　 业主代表 测试者 　 　 　 Helium Leak测试报告： Helium Leak测试报告 客户名称 机台名称 　F 检测项目 　 检测 检测者 　 检测装置 安内华 检测方法 管内真空 合格标准 漏率小于 Pa.m3/S 总漏率 　 判定 　 业主代表 　 　 　 客户名称 CSMC 机台名称 　 　 附说明(VMB/VMP) 附说明(设备端) 附说明(VMB/VMP) 附说明(设备端) 附说明(VMB/VMP) 附说明(设备端) 附说明(VMB/VMP) 附说明(设备端) 附说明(VMB/VMP) 附说明(设备端) 业主代表 主管 证明人 　 　 　 CDA、GN2系统管路完成检查表 CDA、GN2系统管路完成检查表 机台： 工程名称： 施 作 承 商： 工程项目：二 次 配 工 程 管路完成日期： 承包厂商： 填 表 日 期： 项次 检 查 事 项 良好 异常 异常处理情形 覆检 1. 管材阀件厂牌、型式、规格、尺寸正确 2. Take off与机台衔接点正确 3. 预留阀是否CAP 4. 管路末端若无配置机台时，是否已将其Cap，并将Valve关闭 5. 管路无歪斜、变形 6. 管路支架垂直、水平固定良好 7. 管路外观清洁 8. 阀件或阀盘依设备需求表安装正确 9. 配管位置、路径、高度恰当 10. 测试合格，数据正确(如附件) 11. 管路标示及挂牌明确 12. Turn on前资料准备齐全 13. 阀开关是否方便 14. Bulk gas from to标签粘贴正确、完整； 15 管线规格标签粘贴正确、完整； 缺失说明及批示： 业主主管 检查人 证明人 Bulk Gas系统管路完成检查表 Bulk Gas系统管路完成检查表 机台： 工程名称： 施 作 承 商： 工程项目：二 次 配 工 程 管路完成日期： 承包厂商： 填 表 日 期： 项次 检 查 事 项 良好 异常 异常处理情形 覆检 1. 管材阀件厂牌、型式、规格、尺寸正确 2. Take of