无尘室的等级与管理.docVIP

(无尘室的等级与管理) ※无尘室定义 无尘室是一个为了对空间内空气中的微粒做控制，所建造的特殊封闭性建筑。一般而言，无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。 无尘室依等级的不同，对一定空间内的微尘粒子最大容许量亦有一定规范，在国际标准中最常用的规范有Fed-Std-209E及ISO-14644，以下表格为Fed-Std-209E及ISO-14644的等级定义。 ※Fed-Std-209E洁净度定义 ※ISO-14644洁净度定义 ISO的等级划分，首先定义了微粒的粒径是从 0.1mm到 5mm，在此范围之外就不列入等级表，但是另定义有超微粒子与超大粒子针对范围外粒子。ISO 等级本身归类为 ISO Class 1 到 ISO Class 9，其允许上限的定义是大于等于该粒径的微粒数，数目字如下表，单位是每立方公尺的微粒数。 比较以上两表我们可看出： 209E的公制和英制两套标准，虽然有公式做互换，但是仍究很难一眼看出其相关性。两制放同一表，徒然造成混淆。 在两表中0.5μm几乎出现在每一个等级定义中，表示粒径0.5μm的粒子非常具有代表性。 在洁净度的分类上，不管是在高洁净度，或是低洁净度，ISO-14644的范围比209E都来的广，因此具有未来性。 ※无尘室分类 　无尘室依等级的不同而在气流设计上会有所区别，一般可分为垂直层流方式(Class 1~100)、水平层流方式(Class 1~1,000)、乱流方式(Class 1,000~100,000)，其详细区分如下表： ※垂直层流型无尘室 垂直层流无尘室亦称为单一流向型无尘室，由于微粒的移除完全掌握在气流的模式，因此愈洁净的无尘室或是无尘区域，对气流模式的掌控就愈重要。 全面垂直层流无尘室采用模块化铝挤层流天板，搭配铝合金高架活动地板，使整个无尘室气流可由上往下直接循环，搭配高效率过滤风车组，其过滤微粒效果可达99.999％，使整个无尘室的等级可达到Class 1~100。 ※乱流型无尘室 此类型无尘室大多设计在洁净度等级要求不高（Class 1000~Class 100,000）的无尘室，因气流循环是以回风柱方式循环，故会在室内产生乱流，其制程及人员所产生的粒子就会在室内打转，必须要以洁净度高的空气来予以稀释，并将室内洁净度控制在某一等级以下，其重点在于掌控微粒的产生速率，进而推算换气次数，达到控制室内微粒子数量的目的。 ※无尘室自动化 ◎－表示无尘室竣工后应量测之项目△－表示量测线性监控 ※无尘室节能技术 自动化 管理1.关掉不需使用之照明设备2.省水3.关门 天然能源1.雨水收集利用2.新鲜空气冷却 ? 排气能源再利用 系统1.达到最小化之高质量清洁区域2.能源利用3.电力耗用曲线扁平化4.最佳之空气流动配置5.设备数之控管6.建筑结构热隔绝7.二氧化碳之控制? ※无尘室人与粉尘的关系; 人的呼吸 每分钟产生2200个粉尘 头发 胡须每分钟产生4500个粉尘 裸手 每分钟产生1930个粉尘 衣服 每分钟产生5600个粉尘 人体走动 每分钟产生5500个粉尘 ※无尘室管理四原则 (注): 达下列任一条件就必须更换 HEPA1. HEPA 之压损超过 50 mmAq 因为 HEPA 压损若过大, 空调送风量相对降低, 可能造成室内温度升高问题. 2. 达不到设计之洁净度3. HEPA 有破损4. 使用超过 5年 ※无尘室室内正压之维持 **无尘室贴纸 无尘室用标签 (LCD、半导体、封装、特殊电子业专用)?? ? ~ 无尘室专用标签、无尘贴纸、无尘室专用贴纸、无尘标签、无尘影印纸、打印无尘纸 影印无尘纸 ? ????????????????????????????????????? ????????????? ??????? ????????????? ?????? ?????????????????????????????????? ?????????????????????????????? 透明底纸无尘室用卷标?????????????????????? ???????????????? ?????? ? 静电卷标????????????????? ????????????????????????? ~ 无尘室胶带、无尘胶带、无尘室专用胶带系列? (胶带本身不含纤维, 中心滚动条采用塑料PE管, 表面亦经特殊处理, 不易吸附灰尘, ) ???????? ? ????? 无尘室用opp封箱胶带??????????? ???? 无尘室用胶带 一.无尘室基本的注意事项例举下列事项： 1. 无尘室（Clean Ro