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石英管PECVD安装操作规程 1 安全与标识 威胁人身伤亡或健康 微波辐射危险 微波泄露限制：根据必威体育精装版科学研究 和世界许多国家执行规定，距易接近 设备部件5cm处微波泄漏小于5mw/cm2 热的表面 2 PECVD石英管安装操作全过程 准备石英管 停机 开盖 拆除旧石英管 清洁等离子源槽 安装石英管 拆下等离子源槽罩壳清除氮化物（根据需要） 2.1 准备石英管 按照图示顺序做新石英管。做好后检查一下，铜管要穿在聚四氟乙烯支撑片中间小孔，铝压紧圈要高于铝帽边。元件安装顺序：1.铝帽 2.聚四氟乙烯支撑片 3.橡胶密封圈 4.聚四氟乙烯圈 5.橡胶密封圈 6.聚四氟乙烯圈 7.铝压紧圈 8.锁紧头 2.3 开盖 选择点击“cover control”按钮 选择点击所需打开的盖控制按钮 点击“open”控制按钮并确认，两手同时按压盖控制按钮，打开盖 2.4 拆除旧石英管 注意：穿带防护用品，防止烫伤，划伤，氮化物进入眼睛 如下图，从机器两侧微波头中拔出铜天线100mm 等机器反应室温度降下后，如下图，用工具松开石英管两侧锁紧头 如右图，移出石英管两侧锁紧头100mm 从等离子源槽中水平移出石英 2.5 清洁等离子源槽 用钢丝刷刷，吸尘器吸，除去氮化物 用细针透等离子源槽下一排和上两排细孔 2.6 安装石英管 检查机器上锁紧件橡胶密封圈，如果坏立即更换 用卫生纸蘸酒精擦干净锁紧件橡胶密封圈和石英管铝帽 水平放石英管于等离子源槽中 把石英管两侧锁紧头插进机器上锁紧件里 用工具稍微锁进一侧锁紧头，再锁进另一侧，然后两侧轮流均匀锁进。一定要锁紧锁紧头，但不需锁到底 再用吸尘器吸去等离子源槽和反应腔中氮化物 见图，旋转铜天线，慢慢使之插入微波头。注意一定插到头 检查铜天线头是否穿在石英管铜管中间。注意不能插僻 2.7 拆下等离子源槽罩壳清除氮化物（根据需要） 见图，用专用工具使四个锁紧件解锁。均匀地从等离子源槽中取出罩壳 清除氮化物 重新装上等离子源罩壳，锁紧四个锁紧件 石英管PECVD安装操作规程 完 * * 触电危险 戴防护眼镜 戴防护手套 做好石英管后,在石英管外缠绕一层耐高温带，两侧用高温胶带粘贴。注意不要用赤手接触石英管，如果手接触了石英管，可用酒精擦洗石英管 2.2 停机 停止工艺运行，停止传动运行 关上位于墙壁气箱中特气阀，通知经过培训的设备人员进行特气管路吹扫 点击三个真空泵“pump off”按钮关掉真空泵 向机器腔体冲入净化N2
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