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划 片 刀 知 识 划片刀及参数对划片质量的影响 划片刀的组成元素 金刚石颗粒 金刚石密度 细孔、碎屑口袋 划片刀型号的含义 NBC-ZH 2 05O-SE 27H E C C SE 型刀片的结构 划片刀型号规格 划片时刀片的两种情况 各种类型刀片的比较 金刚石密度的比较 金刚石颗粒尺寸的比较 粘合剂类型的比较 金刚石密度的比较 金刚石颗粒尺寸的比较 粘合剂类型的比较 影响划片质量的因素 预切割 ● 冷却水 刀架精度 主轴转速 进刀速度 刀刃伸出量 蓝膜 预切割的影响 刀架精度的影响 主轴转速的影响 进刀速度的影响 刀刃伸出量的影响 蓝膜的影响 冷却水的影响 1、水温不稳: A. 波浪形切 B. 影响机台精度 2、水温设定: 划片水温设定为 (室温+2℃)± 1℃,当水温变化过大时会造成刀痕偏移,通常偏移量大致每上升或下降1℃时会有1μm。主轴冷却水温规格与室温相同。 3、水流量小,冷却不够,刀片磨损快。 不同刀片及参数下的碎角比较 刀片厚度与芯片厚度比较 刀片类型与芯片类型比较 切割条件与芯片类型比较 芯片类型比较 碎角图片 刀片厚度与芯片厚度比较 刀片类型与芯片类型比较 芯片类型比较 切割条件与芯片类型比较 金刚石含量高,寿命长,芯片表面碎角少,背面碎角多;含量低,寿命短,芯片表面碎角多,背面碎角少,进刀速度要慢。 ? 硬的粘合剂,刀片寿命长,芯片表面刀痕粗糙;软的粘合剂,刀片寿命短,芯片背面刀痕毛刺小,刀片不易弥塞。 金刚石颗粒大,刀片寿命长,刀痕毛刺大;颗粒小,刀片寿命短,刀痕毛刺小,刀片易弥塞,进刀速度要慢。 不同类型的刀片,寿命、切割质量不一样。 除了刀片选择之外,划片的参数以及机器的精度都会对划片质量产生影响。 Blade strength:刀片强度 Cutting Precision:切割精度 Cutting Speed:切割速度 Cutting Quality:切割质量 Disco 建议刀架精度:1~2 um 刀架精度高,切割精度、刀片强度、切割质量提高,磨损减少。 冷却水的作用: 1、 带走切割后之硅屑 2、 作为冷却作用 * 注:资料来源于DISCO公司 IC组装分厂磨划部培训教材 刀 片 金刚石颗粒 密 度 粘合剂 类型 形状 尺寸 类型 细孔/碎屑口袋 注:一定大小的金刚石通过粘合剂结合成刀片,并且刀片上有一种结构称为“碎屑口袋 IC组装分厂磨划部培训教材 注:人造金刚石是有棱角的。 IC组装分厂磨划部培训教材 IC组装分厂磨划部培训教材 旋转方向 碎屑口袋 注:碎屑口袋;用来带走切割时产生的硅屑以及装载冷却水。 IC组装分厂磨划部培训教材 标准型铝质法兰盘 密度 粒度 粘合剂 内外径尺寸 粒度 刀刃伸出量 刀刃厚度 IC组装分厂磨划部培训教材 IC组装分厂磨划部培训教材 IC组装分厂磨划部培训教材 注:刀片在切割时会产生弥塞(软的物质粘附在金刚石上)或钝化(金刚石磨损), 一般采用预切割可以消除,预切割的目的就是使金刚石暴露出来以及产生“碎屑口袋”。 IC组装分厂磨划部培训教材 注:不同类型的刀片,寿命、切割质量不一样。 IC组装分厂磨划部培训教材 刀片寿命 表面碎角 背面碎角 低密度 高密度 IC组装分厂磨划部培训教材 改善 恶化 刀片寿命 切割能力 碎角 大颗粒 小颗粒 IC组装分厂磨划部培训教材 改善 恶化 IC组装分厂磨划部培训教材 IC组装分厂磨划部培训教材 预 切 割 不 预 切 割 IC组装分厂磨划部培训教材 实际的刀片厚度: 180 um IC组装分厂磨划部培训教材 IC组装分厂磨划部培训教材 IC组装分厂磨划部培训教材 IC组装分厂磨划部培训教材 IC组装分厂磨划部培训教材 IC组装分厂磨划部培训教材 IC组装分厂磨划部培训教材 IC组装分厂磨划部培训教材 背 面 碎 角 大 小 IC组装分厂磨划部培训教材 IC组装分厂磨划部培训教材 IC组装分厂磨划部培训教材 IC组装分厂磨划部培训教材 资料来源于DISCO公司 Chip pocket:碎屑口袋;用来带走切割时产生的硅屑以及装载冷却水。 grit:金刚石颗粒 一定大小的金刚石通过粘合剂结合成刀片,并且刀片上有一种结构称为“碎屑口袋“。 刀片在切割时会产生弥塞(软的物质粘附在金刚石上)或钝化(金刚石磨损),一般采用预切割可以消除,预切割的目的就是使金刚石暴露出来以及产生“碎屑
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