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不定项选择题(共14题,每题3分)
属于Wet Etch安全危险因素是(ABC)
A.Etchant B. O3 Leak
C. 高空作业 D.有毒气体
属于Wet Etch安全防护措施是(ABCD)
A.设备旁边配备洗眼器和淋浴室
B.设备内存在排放酸气和O3的Exhaust
C.必要时清洗用的DI GunCDA Gun
D.设备过道有护垫
3.Wet Etch个人防护用具包括(ABCD )
A.安全眼镜
B.防腐蚀手套
C.防酸面罩
D.保护围裙
4.以下说法正确的是( ACD )。
A. Strip设备有用于防治火灾的CO2灭火器
B. 发生火警时,应立即切断电源,并用水扑救
C. 禁止在手套有药液或者水的情况下进行开关电源的操作,容易发生触电事故
D. 检修及维护人员要熟悉所用设备的性能、原理,不要随意拆修电器设备
5.属于Wet Etch禁忌行为的有(ABCD)
A.不熟悉设备的人员操作设备
B.不佩戴防护用品的情况下对于药液接触部分的部件进行更换或者维修
C.在不停电的情况下对带电部件进行更换或者维修
D.设备运行过程中打开设备进行作业
6. O3 Leak发生时措施要领( ABC )
A. Wet Etcher APP附近异味非常浓的时候,停止Glass投入
B. 暂时回避到没有味道的地方
C. 戴防护用具进行检查和排除异常
D. 待气味减少后,继续投入Glass
7. 关于灭火器的说法,正确的是( ABCD )
A. 当对灭火装置进行保养维修时,为了防止灭火剂的意外喷射,必须关闭停止阀
B. 在保养维修作业过程中,为了防止防护对象发生火灾,必须派人监视
C. 保养维修作业结束后,应打开停止阀(平时应保持停止阀处于打开的状态)
D. 灭火装置一旦作动后,必须由具有资质的人员进行检修和保养
8. 当发生工作人员高空坠落时,应采取以下方法自救(BCD)
A. 尽量移动身体,寻找救援
B. 尽量避免头部着地
C. 尽量用四肢保护内脏,身体外侧着地
D. 尽量抓住其他物体,减缓冲击力
9. 高空坠落的原因( ABCD )
A. 高空作业思想不集中或开玩笑、追逐、嬉闹
B. 酒后进行登高作业
C. 麻痹大意
D. 没有佩戴安全带
10. 有关Filter Change的注意事项说法正确的是(ABCD)
A. 必需有人监督的情况下进行作业
B. 必需确保进出Filter的手动阀门都关闭之后才能进行作业
C. 安装完毕后,应以工作压力校验管路安装的密封性及整条管路流量的稳定性
D. 拆卸完毕旧的Filter后,一定立刻将裸露出的Filter用袋子封闭包装,以免异物和Particle
11. 发现有松动或leak 发生时的操作步骤(ABCD )
A. 先把设备Stop B.在Leak部位垫好无尘布
C. 使用Belt wrench将松动部位拧紧
D. 将Leak 的Chemical擦拭干净
12. APP的UT Box相关,正确的说法有( ABCD )
A. 在需要手动关闭PCW时,注意PCW阀门开关IN,OUT开关要同时关或开一般情况下阀门常开
B. 在手动状态下,要确认PCW OUT上的流量计视数正常才能开启电极电源
C. 如发生压力报警需手动在UT BOX的Filter 去调整
D. 正常情况下,不要去触碰
13. Stripper Leak时的安全注意事项:(ABCD)
A. 为防止药液蒸气扩散,要在尽量短的时间内进行更换操作
B. 仔细确认周围地面环境,防止绊倒;如果地面比较湿滑,应用wiper清理,再进行作业
C. 禁止在作业的过程中,打闹嬉戏或者是中途离开,没有一次性完成作业
D. 如果不小心部分药液飞溅到身体部位,尽快用清水进行冲洗,并迅速送往医院进行处理
14. 设备停水后恢复时注意事项(ABCD)
A. 在设备停水及恢复过程中安全第一,一定要按照顺序进行,否则有可能损害设备
B. 确认设备Tank内液位达到标准才可启动泵,防止在DIW过少情况下使用循环泵,否则有可能损害循环泵
C. 当设备恢复turn on 后,需马上确认设备流量是否符合标准,如有异常需确认是否因管路内含有杂质
D. 在停水及恢复的时候,一定要在得到动力技术部门的通知后,再采取行动,不要出现因为Inform不到位发生安全事故
二. 判断题:(共6题,每题2分)
1. Eng’r每日检查Leak Interlock是否设置为使用状态,一定不能禁用 ( √ )
2. Eng’r每日检查Piping Ro
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