外文翻译-基于工具的纳米精加工和显微机械加工.docVIP

编号： 毕业设计(论文)外文翻译 （译文） 题 目： 和显微机械加工 学　院： 机电工程学院 专 业： 学生姓名： 学 号： 指导教师单位 姓 名： 职 称： ?理论研究 ?实验研究 ?工程设计 ?工程技术研究 ?软件开发 2014年 5 月 26 日 基于工具的纳米精加工和显微机械加工 M. Rahman?, H.S. Lim, K.S. Neo, A. Senthil Kumar, Y.S. Wong, X.P. Li 机械工程系，新加坡国立大学，肯特岗坊10，新加坡119260，新加坡 摘 要 越来越多的工业产品不仅需要增加功能的数量,而且要减小尺寸规格。精密加工是这样的小型零部件的生产最基本的技术。自从以小型技术的工业产品为发展趋势以来，在当今的制造业，精密加工扮演越来越来重要的角色。以微投影为基础的显微加工并不像基于工具的显微加工技术有那么多的缺点，比如，车削、研磨、EDM。ECM在生产中有很多优势，比如，生产力、效率、灵活性和成本效率。然而,困难是作为加工单位减少,尚未利用基于工具加工的精密加工技术解决。然而，当传统的机械加工部件减少时，难题是只有当基于工具的机械加工的显微机械加工技术出现时，问题才可以解决。 在这篇文章中，讲述了基于工具微加工的一些重要领域的必威体育精装版成果。摘要介绍了基于工具微加工的一些重要领域最近的成就。介绍了电解敷料(ELID)过程，为了在硬、脆性材料上完成纳米表面，单点金刚石工具磨削和超精密加工是两种应用最广泛的生产技术。最近这些技术也在应用硅晶片的新一代纳米表面硅晶圆，希望能够替代当前的电流技术,化学机械抛光(CMP)过程。 微电流放电加工(micro-EDM)和微车削技术被广泛用于生产小型部件和功能。通常进行混合加工时有高精度的制造的微成分。通常用微型机床生产此类组件。这种机器最近的发展成就也在本文中讨论。? 2006 Elsevier B.V保留所有权利。 关键字：基于工具的机械加工、ELID 研磨、微型火花机、精密车削、混合机械加工 由于最近超精密机械系统的进步，微加工越来越受欢迎。现在有很多致力于制造功能性微观结构和组件的研究。显微机械加工将微影应用在硅基质上是微结构制做过程的关键。然而,由于它本身类似三维的结构，所以在这个过程中有一些限制。深X射线利用同步加速器发射光线（LIGA 加工）。凝聚光线加工制造过程以非常准确的方式产生高比率的三维次微米结构。但是，这些过程的实现需要特殊的设备。最大可实现的厚度是非常小的【1,2】。传统材料去除过程,如车削、铣削和磨削,也通过引入单点金刚石铣刀或非常细粒度大小的磨轮研究了制造微观结构。这些材料去除过程几乎可以加工制造所有材料，如金属、塑料和半导体。加工形状也没有限制,因此,需要移动部件和导向结构的平面,曲率和长轴都可以加工【3,4】。刨后的零件和非球面的纳米级表面可以通过柔性模式加工或金刚石铣刀单点回转或使用新的磨削方法与固定磨料颗粒完成【5,6】。为了获得完美的纳米表面和准确作用到脆性材料,普通砂轮与细磨料尺寸是必要的。当用细小的研磨剂研磨时，会遇到砂轮上载荷和装配等问题。减少上述问题，周期性修正是至关重要的,这使得磨削过程非常繁琐。为了为成分的大批量生产，微凸腔体是必须的，这些可以由注塑工艺完成。以控制微米的范围内为目的的的微注射法中，以三维形式加工那些难以加工的工件。对于复杂三维模型的装配，需要用到硬度很大的冲模材料，精密电子束加工是替代机械加工形式的一种，已经被成功运用。微型火花机几乎可以加工所有的导电材料，无论材料的硬度有多大。用非常细小的电极来实现EMD轮廓的控制，可以很成功的制造微型模型。尽管这些方法不能达到产品装配的技术尺寸量级，比如，在许多情况下，量级是不需要的。除此之外，产品方案的设计和蚀刻技术也相对比微加工用机床价格更贵。 在这篇文章中介绍了基于工具微加工的一些重要领域的成就。 新一代的纳米表面 2.1 新一代的纳米表面在加工研磨工序中使用电解质 2.1.1 ELID磨削原理 通过塑性变形而不是断裂，切削硬性材料和脆性材料可以获得镜面抛光表面。当使用超细研磨磨轮ELID磨削是，意识到了柔性模式的机加工。当用粒度#4000及以上的含有金刚石的金属砂轮的时，光滑表面和更少的切削痕迹在玻璃上表现的很明显。 日本村田公司et al .(1985)介绍了电解加工（ELID）过程，用粒度小于#400含有金刚石的金属砂轮磨削陶瓷，他们发现了高效磨削硬性材料和脆性材料的方法。Ohmo