AEAscentDMS双极脉冲电源特性.docx

Ascent DMS双极脉冲电源替代传统中频交流电源的最佳产品方案2016.1.12双靶反应溅射应用 (DualMagnetronSputtering)Ascent DMS双极脉冲电源的核心性能优势最快的电弧响应与处理速度（≤1微秒），最低的电弧残余能量（≤0.4微焦耳）；明显提 高AZO等易放电靶材溅射效率。方波输出，镀膜沉积率相比中频交流电源至少提高15%以上，节约大量能耗。输出频率在0.5-50Khz范围内可调，帮助实现更多的工艺与膜系开发。功率输出脉宽在5-95%范围内可调，前所未有地提供了不同材料掺杂共溅射（Co-Sputtering）的绝佳条件，帮助实现更多的工艺与膜系开发。模块化设计，直流电源 + 逆变单元，体积小， 使用灵活，可叠加功率最大至200千瓦。 灵活切换直流与交流两种用途。专门针对玻璃镀膜使用环境研制发开，坚固耐用。Ascent DMS 120千瓦双极脉冲电源自2015年1季度在北玻镀膜终端客户惠州龙玻镀膜线替代原有中频交流电源连续使用已近1年，效果非常稳定可靠。中频电源与双极脉冲电源用于AZO效果对比电压曲线中最大值620V,最小值540V，从以上曲线可以看出，双脉冲电源设定电压差值80V，电压曲线波动频繁， 30KW点靶后，电压曲线和电流曲线都上下波动密度较大，现场观察靶筒辉 很平滑，波动较小，查看电源记录的历 光有闪烁现象，且比较频繁。 史数据，电压最大值574V，电压最小值 553V，电压差值21V，观察现场靶筒辉光无闪烁现象。输出频率会对薄膜特性产生明显影响双极溅射提高沉积速率?双极直流脉冲电源实现比传统交流电源更高、与纯直流电源相近的沉积速率?同时具有直流脉冲电源清理靶面累计电荷、抑制电弧的优点。双极脉冲电源功率输出波形可调升压 ?可调脉宽 ?可调升压功能对镀膜沉积效率的显著提升# 9# 10试验装置上的最大功率和电弧处理结果注意与交流电相比，可控的电压爬升使 功率的上升更为稳定。20 KHZ @ 60 KW进入工业 DMS 试验箱（氩气和铝靶材）电弧处理试验结果：60 KW进入铝靶材在 60kW 功率下成功管理电弧电弧快速侦测和熄灭！可调升压–工艺优化的机会可调升压?40 KW、30 KHZ、铝靶和氩气可调占空因子 – 调节功率平衡可调脉宽 ?30 KW、10 KHZ、铝靶和氩气交流电电源限制为 50/50 的占空比实际生产中双靶材并不以同样的速率溅射靶材溅射速率不一致影响镀膜质量，减少有效镀膜时间，造成靶材浪费解决办法是控制各支靶的沉积速率ASCENT DMS 的占空比可变 – 例如： 60/40、10/90允许每支靶的溅射速率可调40/6050/50 50/50 50/50 40/60模块化低电感电缆互联，即 TRIAX、LEONI 等ASCENT DMS逆变装置双靶溅射系统ASCENTAMS直流电源ASCENT AMS直流电源试验前设备机架配置好功率、控制器和水冷连接自定义的装置，带 ASCENTDMS 模块架构1.面向 30KW至 200KW的 DMS 和 SMS 应用的功率10KW增量2.装置使用直流电源电缆，成本最低直流电缆每米 3 美元，而进口优质中频交流电源电缆每米超过 50 美元3.可将交流设备灵活安装到阴极盖上或阴极盖板中，消除了电缆造成的功率损耗和工艺影响从相同工业标准的 19” 机架提供直流和交流输出Ascent DMS双极脉冲电源的核心性能优势最快的电弧响应与处理速度（≤1微秒），最低的电弧残余能量（≤0.4微焦耳）；明显提 高AZO等易放电靶材溅射效率。方波输出，镀膜沉积率相比中频交流电源至少提高15%以上，节约大量能耗。输出频率在0.5-50Khz范围内可调，帮助实现更多的工艺与膜系开发。功率输出脉宽在5-95%范围内可调，前所未有地提供了不同材料掺杂共溅射（Co-Sputtering）的绝佳条件，帮助实现更多的工艺与膜系开发。模块化设计，直流电源 + 逆变单元，体积小， 使用灵活，可叠加功率最大至200千瓦。 灵活切换直流与交流两种用途。专门针对玻璃镀膜使用环境研制发开，坚固耐用。Ascent DMS 120千瓦双极脉冲电源自2015年1季度在北玻镀膜终端客户惠州龙玻镀膜线替代原有中频交流电源连续使用已近1年，效果非常稳定可靠。ASCENT-ASCENT DMS 系统配置最大为 60KASCENT直流电M/SASCENT DMS2个阴极的试验箱ASCENT DMS2M/SASCENTDCASCENTDC个阴极的试验箱ASCENT DMS2M/S个阴极的试验箱ASCENT DMSM/S多阴极大功率系统M/SM/SM/SASCENTDCASCENTDCASCENTDC2#1ASCENT DMS个阴极的设置M/SCEX#2