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探头维修，维护与保养 探头维护与保养 常见问题 首先检查冷却水 保证冷却水足够流量，水温正常 检测方法：测量探头出水温度，整个工艺过程中，水温稳定，如果升高，则水量过小 典型故障：重复性差 探头维护与保养 标准单探头结构 探头维护 簧片调整 簧片调整 探头维护与保养 探头维护与保养 水管弯曲 真空连接电缆 检测短路或断路 连接法兰 短路或断路 拆接 检查断路或短路 震荡包 XIU检测 连线 * 以单探头为例 以单探头为例 探头 真空连接电缆 连接法兰 BNC接头 1 水温不稳, 2 保养不良, 3 接地不良，4 硬件故障 可造成下列现象 1。ACTIVITY值低 2。镀膜速率不稳定 3。晶片寿命短 4。新晶片实效 以单探头为例 清洁该表面，不许有镀膜残渣 陶瓷座簧脚调整为45度，陶瓷边缘变黑后要更换 卡簧007-007，4000次换片后要更换 750-171-P1，4000次换片后要更换 水气管可以弯曲，但不能在根部折弯 接触面由于高温氧化造成 接触不良， 或安装方式造成断线 用万用表测量图示联线电阻值，应〈1欧姆 万用表针一端测此簧脚 万用表另一端测此接头内电缆芯 针脚短路造成元件击穿 *
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