SU6600 培训笔记总结.doc

SU6600 扫描电镜操作手册 SU6600主要硬件： 电子光路系统：热场发射电子枪（FE Gun）、聚光镜光阑（Anode Aperture）、物镜光阑（OBJ Aperture） 样品马达台：实现样品台X轴（0~110mm）、Y轴（0~110mm）、Z轴（4~40mm）、样品台R旋转（0° ~ 360°）和T倾转（样品standard状态下-5° ~ +70°）。 真空系统：场发射腔、样品室（SC）、样品交换室（XC）、离子泵（IP1、IP2）、涡轮分子泵（TMP）、机械真空泵（RP1、RP2）。 检测装置：二次电子探头（SE）、背散射电子探头（BSE）、能谱（EDAX）。 一．开机事项： 确认实验室工作环境正常（房间无异味、无异常声音）。 确认电子枪工作正常（镜筒“FIL”灯是否亮）。 二．制样及注意事项： 确认样品无磁性，如果要做有磁性的样品，需经设备负责老师同意。（操作过程中可点击“Degauss”按钮消磁） 确认样品没有挥发性，以免污染样品室，或者破坏仪器的真空环境。 样品确认清洁干净。 非导电样品可考虑喷金。 在粘结试样前必须佩戴手套，禁止用手直接接触样品台及样品台底座，避免污染样品室。 样品必须粘结保证牢固，以免掉在样品室内。 确认样品上表面高度（如有多个样品，取其中最高值）与“Standard”位置之间的高度差，不宜太低，也不宜太高，范围为-5mm到35mm。 样品高度将直接决定Tilt最大角度，若为Standard高度，Tilt的最大角度为70度。 试样准备完善后方可进行进样操作。 三．SU6600进样操作程序 放样 将粘好样品的样品台旋到螺柱上。（可旋松螺柱卡片调节螺柱高度，螺柱卡片作用是使得螺柱不会晃动）； 调节样品台的高度，一般情况下，使得样品上表面最高点在“Standard”位置以下（但不要低于“-5”），但若要拍摄很高倍数照片时，可以调节样品位置在“10”以下。记住样品最高点比“Standard”位置高的数值h； 轻按样品交换室上部“AIR”按钮（准备打开样品交换室舱门），听到“嘀”响声后，即可打开样品交换室（注意：不要拉样品杆，而是要拉着样品交换室舱门把手打开舱门）；戴上手套将调节好的样品台底座装到拉杆上（注意：装样前确保拉杆旋在“UNLOCK”位置，装样过程中要直着向前推样品到“banana holder”的底部，注意沿着Holder轴向用力， 切忌有横向的力左右旋转， 因为香蕉卡子较细，容易断裂。）装样时可将样品台拉杆向前推一点方便装样（但切记归位，否则下步按“OPEN”按钮时会报警），然后将拉杆旋到“LOCK”位置； 装好样品台底座后，确保样品杆归位，然后关上样品交换室门（注意：关闭样品交换室门时不要拉着拉杆关，而是右手按着舱门来关）； 关好舱门后，用右手按住舱门，同时按“EVAC”按钮，对样品交换室抽真空，听到抽上真空的声音后，方可松开右手，当发出“嘀”声后，按下“OPEN”按钮（准备打开样品室舱门），等“OPEN”按钮不再闪烁并发出“嘀”声后（此时样品室舱门打开），将样品平行推入样品室，确定推到位置时（此时已经无法再向前推），将拉杆旋到“UNLOCK”位置，平行拉出到位（有轻微“咔嗒”声响），按下“CLOSE”按钮（关闭样品室舱门），听到“嘀”声后方可进行后续操作（注意：以上步骤进行过程中需要仔细观察样品交换室内情况，以防误操作撞坏样品台底座。） 操作 找样品：装好样后，先填写实验记录表格，点开Mainte(nce)按钮，记录IP1，IP2和IC的数值 然后点击“set”按钮设置样品台参数（包括15mm，1inch，2inch三种尺寸的样品台） 点击Home 加电压（逐步+5V，+5V，红灯亮） 找到样品（特征点）【此时可以将高度调制10mm，也可以不调；probe current：small HR；aperture（anode aperture；OBJ aperture）】 合轴：找到样品后先调焦距 然后点Beam Alignment 调好后点off。【象散调好后再看样品可直接调X、Y功能键来调象散】 调焦：corse/fine使图象清晰，Brightness和contrast使图像衬度合适，也可用AFC；ABCC调亮度对比度。 拍照：“高倍调焦，低倍照相”原则，可用TV1模式和Slow3模式。拍完后恢复run，继续成像 保存图像；或备用打能谱（cap/最多能存16张照片）。 能谱 先打开能谱控制电源箱，等两个绿灯亮就能进行下一步 Probe current：medium 看积数率CPS是否在2000~3000之间，（可通过调节aperture来