RC EGUN-3 电子束蒸发源.doc

RC – Multiple Crucible Rotary e-Gun? RC系列多坩埚旋转电子枪Features 产品特性 ? True XY sweep with full crucible coverage 能够完全覆盖坩埚的真正的XY扫描 ? Sweep coils included with source 电子枪已含扫描线圈 ? Enhanced beam culmination 增强的电子束聚焦 ? Plug-in emitter module 插入式电子束发射组件 ? Enhanced high-stability cooling 增强的高稳定性冷却系统 ? Cross-contamination shielding ? Interchangeable crucibles 可更换的坩埚衬交叉污染屏蔽 ? High Vacuum compatible? Rugged design 兼容高真空坚固耐用的设计 Specifications 技术参数Operating pressure 工作压力 Below 5 x 10-5 Torr is desirable for best operation 最佳工作压力低于5 x 10-5 Torr Beam voltage 束电压 4,000 VDC Beam current 束电流 0-750 mA continuously variable 0-750毫安连续可调 Maximum power 最大功率 3 kW Cooling water 水冷系统流量 1.5 gpm Pressure differential 冷却水压差 25 psi minimum 最小25psi Maximum bakeout temperature 最高烘烤温度 120°C Crucible volume 坩埚容量 2.24 cc x 4, 6 or 8 crucibles 2.24毫升 x 4或6或8（其中4、6和8指的是坩埚的个数） RC – Multiple Crucible Linear e-Gun? RC系列多坩埚线形电子枪 Features ? True XY sweep with full crucible coverage ? Sweep coils included with source ? Enhanced beam culmination ? Plug-in emitter module ? Enhanced high-stability cooling ? Cross-contamination shielding ? Rugged design ? Optional auto-indexer 产品特性 ? 能够完全覆盖坩埚的真正的XY扫描 ? 电子枪已含扫描线圈 ? 增强的电子束聚焦 ? 插入式电子束发射组件 ? 增强的高稳定性冷却系统 ? 交叉污染屏蔽 ? 坚固耐用的设计 ? 可选自动坩埚导位 RC Series 3-Position Linear e-Gun shown with optional Auto-indexer Specifications/技术参数Operating pressure/工作压强 Below 5 x 10-5 Torr is desirable for best operation/ 最佳工作压力低于5 x 10-5 Torr Beam voltage/束电压 4,000 VDC Beam current/束电流 0-750 mA continuously variable/0-750毫安连续可调 Maximum power/最大功率 3 kW Cooling water/水冷系统流量 1.5 gpm Pressure differential/冷却水压差 25 psi minimum/最小25psi Maximum bakeout temperature/ 最高烘烤温度 230°C Crucible volume/坩埚容量 2.24 cc x 3, 4 or 5 crucibles/ 2.24毫升 x 3, 2.24毫升 x 4， 或者2.24毫升 x 5（其中3、4和5指的是坩埚的个数） RC –Single Crucible e-Gun? RC系列单坩埚电子枪 Features/产品特性 ? True XY sweep with full crucible coverage 完全覆盖坩埚的真正的XY扫描 ? Sweep coils included with source 电子枪已含扫描线圈 ? Enhanced beam culmination 增强的电子束聚焦 ? P