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Despatch烧结炉 1.外观图 2.结构简图 烧结炉所在的位置 3. Despatch 烧结炉开关机操作规程(手动操作模式) 3.1开机 ： 打开炉子的facilities电源 确保facilities的排放系统已运行 打开压缩空气供应，确保达到0.75MPa 打开冷却水供应，确保达到0.4MPa 启动电脑 选择运行程序并上载 依次启动utilities 、conveyor、heater按钮 如果有必要，通过流量表调节气体流量 如果有必要，调节冷却水流量 等到系统显示 ready ，开始装载硅片 3.2关机 关闭加热器heater ，冷却炉带到200℃ 停止炉带conveyor 当炉带速度小于10ipm(1英寸=2.536CM)，关闭utilities 关闭电脑 关闭炉体气体供应 关闭炉体水供应 关闭主电源 3.3烧结炉开关机操作规程(自动操作模式) 自动运行: 当注册人员在操作时，系统在导入程序后提供一个自动按钮。 点击RUN按钮会启动自动循环系统，这样进入运行， 然后在运输系统达到设定的工作点并稳定工作时，加热器开始工作。当加热状态准备好时，说明加热器到达理想的工作点。 停止自动运行 : 同样的一个RUN按钮可以停止自动过程。点STOP按钮会启动终止程序，这样加热器开始冷却。 当加热器失效，加热区温度开始下降而其他功能键换是灰色。一旦温度达到200℃，加热器显示失效并且运输停止，并立刻导致功能键就失效。 4.操作界面 4.1CDF Infrared Drying/Firing Screen桌面各菜单的含义 1 .System Status :Displays current state of heaters, conveyor and utilities or other system functions.(显示目前的加热,传送和功效的状态) 2. ENABLE/DISABLE:Switches Turn separate systems ON (ENABLE) or OFF (加热和传送还有功效可以单独控制) 3 EXIT :Press to exit CDF System Operation. Figure 15 shows Exit dialog screen.(退出当前的操作系统) 4 User Information :Displays date and time, User ID and security level of use.(显示时间日期和用户的级别) 5 Light Tower:Status(灯的显示状态) Green, yellow, or red light turns ON or OFF corresponding to light tower status: ? Red—Alarm condition ? Yellow—System requires operator assistance ? Green—System ready or running 6 .RECIPE IN USE :Current recipe used by system.(目前用的菜单系统) 7 Data Logging: Press to monitor process profiles by choosing data to track.(历史的数据和图象) 8 CHILLED WATER/TEMPERATURE/SUPPLY/RETURN Current supply and return temperatures (Celsius).(冷却水的进出水温度) 9 EXHAUST/ PRESSURE Current exhaust pressure in mm H2O(目前的水压) 10. SETUP: Press to access set up screen and change or create userprivileges.Available only when logged in as a supervisor.(管理者可以进入的窗口) 11. LOG OUT :Press to log current user in or out.(登录者调离当前用户) 12. CALIBRATION: Display Analog Input-Output Calibration screen.(校对当前的输出和输入) 13 .PID: Display PID Loop Tuning and Control screen.显示PID的控制 14. ALARM STATUS: Display alarm status screen.(显示报警的状态) 15 .SYSTEM PARAMET