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编号 本科毕业论文 提高微通道板工作稳定性方法的研究 Technological methods to improve the operating stability for micro-channel plate 学生:专业:指导教师: 理学院 2007年6月 摘 要 微通道板(MCP)是一种需要在真空下工作的电子倍增器件。MCP可以探测荷电粒子、电子、X 射线和UV 光子。在实际应用中,为了保证其真空性能和工作的稳定性,在装入像管以前都要对MCP进行真空处理,以去除通道及表面所吸附的气体。 本文首先介绍了微光夜视技术和MCP的发展情况;阐述了MCP的工作原理和制作工艺;给出了MCP真空高温烘烤和性能测试装置;并对带有Al2O3防离子反馈膜的MCP进行了真空烘烤,分别测量了烘烤前后MCP电性能的变化情况,给出了实验结果;简单叙述了二代近贴微光管MCP电子清刷技术的研究结果;同时对烘烤和电子清刷后MCP及防离子反馈膜的性能变化进行了分析和讨论。 关键词: 微通道板 真空高温烘烤 电子清刷 性能测试 ABSTRACT Micro-channel plate (MCP) is a vacuum electron multiplier that use in vacuum. MCP may detect the electrically charged granule, the electron, X beam and the UV photon. In practical application, in order to guarantee its vacuum performance and the work stability, MCP was loading the registered tube before all had to carry on the vacuum treated, to remove the gas which the channel and the surface adsorption. This article first introduced the glimmer night vision technology and the MCP development situation; Elaborated the MCP principle of work and the manufacture craft; Has given the MCP vacuum high temperature baking and the performance testing device; The vacuum baking is made to MCP with Al2O3 ion barrier film, and measure the performance of MCP front and rear bake, the experimental result has given; The researched results of the electron cleaning technique for Gen-2 proximity tube MCP are given. The effect of the residual gas from MCP on the photoemission of photocathode is discussed. The performance change of MCP and Al2O3 film after baking and electron cleaning is analysis and discussion. Key words: Micro-channel plate Vacuum high temperature baking Electron cleaning Performance testing 目录摘 要 ABSTRACT 目 录 绪论 1.1 微光夜视技术 1.2 微通道板的发展与应用 1.3 本论文研究的主要内容及意义 微通道板的工作原理及制作工艺 2.1 微通道板电子倍增的基本原理 2.2 微通道板的性能参数 2.3 微通道板的制作工艺 第三章 真空高温烘烤及其对MCP的影响 3.1 MCP的真空高温烘烤与测试 3.2 真空高温烘烤对MCP性能的影响 3.3 真空高温烘烤对离子壁垒膜的影响 第四章 电子清刷及其对
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