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金刚石薄膜的性质和制备方法 ;主要内容;金刚石的特性与应用;高透光性 红外到紫外范围均可透过，可制成光学元件的镀层、红外窗口等。 高弹性模量(1200GPa)和高的声波传播速度(18000m/s) 可制成高保真扬声器的振动膜。 电学方面：宽禁带、高载流子迁移率、低介电常数、高击穿电压等，可制成高温半导体器件(600℃)，用于耐强辐射器件。 此外，可制成发光材料、色心激光材料、“黑色钻石”等。;金刚石制备历史的简要回顾;金刚石薄膜制备的特点; 金刚石薄膜制备的主要CVD方法;热灯丝CVD法（Hot Filament CVD）;热灯丝CVD装置示意图; 微波等离子体CVD法(Microwave Plasma CVD) ; 微波CVD装置示意图;电子回旋共振CVD(ECR CVD);直流等离子体喷射CVD ;;空心阴极等离子体CVD法;6 燃烧火焰CVD(Flame CVD) ;;激光诱导CVD法(LCVD);结 语 ;
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