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layout 中的几种失效机制
;授课内容;电过应力:由对器件施加过大的电压
或是电流而引起的失效。;4.1.1静电泄放(ESD);一、带电人体放电模型(HBM);二、机器模型 (MM);三、带电器件的静电放电模型(CDM);ESD影响;保护措施;4.1.2电迁徙;保护措施;保护措施;4.1.3介质击穿;Fowler-Nordheim隧穿;保护措施;4.1.4天线效应;保护措施;保护措施;授课内容;4.2玷污;4.2.1干法腐蚀;保护措施;4.2.2可动离子玷污;4.2.2可动离子玷污;保护措施;授课内容;4.3 表面效应;4.3.1热载流子注入;热载流子注入的影响;保护措施;4.3.2齐纳蠕变;保护措施 ;4.3.5寄生沟道和电荷分散;4.3.5寄生沟道和电荷分散;4.3.5寄生沟道和电荷分散;寄生沟道和电荷分散;保护措施;保护措施;保护措施;保护措施;;保护措施;保护措施;授课内容;授课内容;4.4.1衬底去偏置;4.4.1衬底去偏置;单个衬底电流注入源和单个衬底接触;保护措施;4.4.2少子注入;4.4.2少子注入;4.4.2少子注入;保护措施???衬底注入);;代表性的两种收集电子保护环的剖面图;保护措施(交叉注入);;;4.4.3衬底效应;保护措施;THE END
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