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第 卷第 期 年 月
43 7 红外与激光工程 2014 7
Vol.43 No.7 Infrared and Laser Engineering Jul. 2014
高重复频率 DPL 激光对光学薄膜元件损伤实验研究
代 福 1,2 ,熊胜 明 2
( 1. 五 邑大学 应 用物理与材料 学院 ,广 东 江 门 529020 ;
2 . 中国科 学院光 电技 术研 究所 ,四川 成都 610209)
摘 要: 光 学薄膜 的高重频激光损伤特性一直是激光 薄膜研 究者 的重点 。 为 了分析光 学薄膜在 高重
频激光辐照下的损伤特性 ,探 究其损伤机理 ,文 中从 实验 出发 ,研 究 了重复频 率 10 kHz DPL 激光对光
学薄膜元件 的损伤特性 。 结果表 明 ,修 正膜层 内的驻 波场分布 ,降低膜层 内高折射材料 中的驻 波场峰
值 可 以提 高高重频激光损伤 阈值 ;从激光损伤形貌与辐照激光功率的关 系上看 ,在 高重频激光辐照下
光 学薄膜元件 的损伤 实质上是 热效应和场效应共 同作 用下产生的“微损伤 ” 累积放 大所造成 的。 当薄
膜吸收率较 小时 ,损伤主要表现 为场效应所致 的“微损伤 ” 累积放 大 ,当薄膜吸收率较 大时 ,损 伤 主要
表现 为热效应所致 的“微损伤 ” 累积放 大。
关键词: 光 学薄膜 ; 重频 DPL 激光 ; 驻 波场修 正 ; 损伤机 理
中图分类号: O484 .4 文献标志码: A 文章编号: 1007-2276(2014)07-2074-07
Experimental study on damage of optical coating irradiated
by high repetition rate DPL laser
Dai Fu1,2 , Xiong Shengming2
( 1. School of Applied Physics and Materials, Wuyi University , Jiangmen 529020 , China ;
2 . Institute of Optics and Electronics, Chinese Academy of Sciences, Chengdu 610209 , China)
Abstract : High repetition rate laser damage properties of optical coating have been the focus of the laser
film researchers. In order to study the damage characteristics of optical coatings at high repetition rate
laser irradiation , and explore the damage
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