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《3、电子显微分析》.pdf
绪论
电子显微分析
由于光学显微分析的分辨率极限,需要开发新型的显微分析手
段以满足微观世界研究的需要。
第四章电子显微分析
透射电子显微镜
Transmission Electron Microscope (TEM)
扫描电子显微镜
Reference: Scanning Electron Microscope (SEM).
1. 王培铭等,材料研究方法。
2. C.R Brundle, et al. Encyclopedia of
Materials Characterization.
3. J. Goldstein, et al. Scanning Electron
Microscopy and X-Ray Microanalysis.
显微分析的分辨本领 提高显微分析分辨率的途径
光学透镜的分辨率 光学显微分析的分辨本领提高方法
The resolving power (R.P) is related with the numerical
a) increasing the half angle of illumination.
aperture (N.A.) of the lens and the wavelength of the light.
b) increasing the refractive index of the lens 0.61 0.61
R P
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