微电子传感器与微执行器3-1.pptVIP

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微电子传感器与微执行器3-1.ppt

光纤传感器 光纤振动传感器 输出光纤 输入光 支架 悬臂光纤 质量块 阻尼油 光纤传感器 光纤振动传感器 1.相位调制光纤振动传感器 图3-60为检测垂直表面振动分量的光纤振动传感器原理图。 振动体振动 反射体位移 反射光束光程(相位)改变 信号光束与参考光束间相位差 干涉。 特性: ?可测振动体垂直分量振幅和面内振动振幅,线性度好; ?垂直分量振幅,10?6?m; ?表面内振动振幅,0.5?10?7?m; ?可测频率范围:1kHz~30MHz。 图3-60 垂直表面振动分量 光纤振动传感器原理图 * 两类光学陀螺 F is finesse of the resonator 干涉式光纤陀螺(宽谱光源) 谐振式光学陀螺(高相干光源) Realized in the integrated version common performance optical gyro: reliable, long life, short initialization time, light... compact applications 1-10?/hr performance Smaller, light, robustness * 光传感器的应用 光电式传感器=光源+光学元件+光电元件 设计应用中,要特别注意光电元件与光源的光谱特性匹配。 模拟式光电传感器 模拟式光电传感器将被测量转换成连续变化的电信号, 与被测量间呈单值对应关系。主要有四种基本形式,如图3- 30所示。 图3-30 光电元件的应用方式 (a)吸收式;(b)反射式;(c)遮光式;(d)辐射式 光电式传感器的应用 脉冲式光电传感器 脉冲式光电传感器的作用方式是光电元件的输出仅有 两种稳定状态,即“通”和“断”的开关状态,称为光电元件的开关应用状态。这种形式的光电传感器主要用于光电式转速表、光电计数器、光电继电器等。 光电式传感器的应用 应用实例 1.光电式带材跑偏仪 图3-31是光电式带材跑偏仪原理图,主要由边缘位置传 感器、测量电路和放大器等组成。它是用于冷轧带钢生产 过程中控制带钢运动途径的一种自动控制装置。 图3-31 光电式边缘位置传感器原理图 图3-32 测量电路 光电式传感器的应用 带材边缘位置检测选用遮光式光电传感器,如图3-33所 示,光电三极管(3DU12)接在测量电桥的一个桥臂上,如图3-32所示。 采用角矩阵反射器能满足安装精度不高、工作环境有振动场合中使用,原理如图3-34所示。 图3-33 带材跑偏引起光通量变化 图3-34 角矩阵反射器原理 光电式传感器的应用 光电式转速计 光电转速计主要有反射式和直射式两种基本类型,如图3-35所示。 图3-35 光电转速计 (a)反射型;(b)直射型 光电式传感器的应用 2.光电式转速计 图3-36 利用光电断续器测量转速和圈数 1-光电断续器;2-不锈钢薄圆片;3-透光缝;4-旋转物转轴 光电式传感器的应用 为了提高转速测量的分辨率,采用机械细分技术,使转动体每转动一 周有多个(Z)反射光信号或透射光信号。 若直射型调制盘上的孔(或齿)数为Z(或反射型转轴上的反射体数 为Z),测量电路计数时间为T秒,被测转速n(r/min),则计数值为 N=nZT/60 为了使计数值N能直接读出转速n值,一般取ZT=60?10m(m=0,1,2,…) 光电脉转换电路如图3-36所示。 图3-37 光电脉冲转换电路 光电式传感器的应用 图3-38 路灯自动控制器 光电式传感器的应用 光电耦合器 将发光器件与光电元件集成在一起便构成光电耦合器,如图3-39所示。 图3-39 光电耦合器典型结构 (a)窄缝透射式;(b)反射式;(c)、(d)全封闭式 光电式传感器的应用 ST188光电反射式传感器 光纤传感器 光导纤维导光的基本原理 图3-40 光纤的基本结构 光纤传感器 光纤液位传感器 光纤传感器 结构特点:光纤测头端有一个圆锥体反射器。当测头置于空气中没接触液面时,光线在圆锥体内发生全内反射而回到光电二极管。当测头接触液面时,由于液体折射率与空气不同,全内反射被破坏,有部分光线透入液体内,使返回到光电二极管的光强变弱;返回光强是液体折射率的线性函数。返回光强发生突变时,表明测头已接触到

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