《《紫外激光双波段高反射镜的研制-论文》》.pdf

第29卷第3期 光电技术应用 Vo1．29．No．3 2014年6月 ELECTR0．OPTICTECHNOLOGYAPPLICAT10N June，2014 光学设计 · 紫外激光双波段高反射镜的研制 陈 恒 ，熊仕富 ，韩 建 ，孙鸿伟 (1．长春理工大学光电工程学院，吉林 长春 130022；2．长春理工大学空间光电技术研究所，吉林 长春 120022) 摘 要：通过非线性光学频率变换的方式，1064FinYAG激光可获得355Fin、266nm波长的激光。在此系统中工作的反射 镜必须同时满足两个波段的高反射。根据薄膜设计理论选择合适的镀膜材料，采用电子束离子辅助沉积_[艺，经过参数优化和 反复试验，在石英基片上制备了355nm反射率为97．9％，266nm反射率为96．8％的双波段反射镜，且在紫外波段355nm的激光损 伤阈值为 1．76J]cm2,266nffl为 1．12J／em。测试结果表明，此反射镜的各项性能满足使用要求。 关键词：紫外高反射镜；激光损伤阈值(LIDT)；离子辅助沉积(IAD)；薄膜 中图分类号：0484 文献标识码：A 文章编号：1673．1255(2014)．03—0001—04 ResearchonDual—bandLaserHighReflectionM irrorinUltravioletBand CHENHeng，XIONGShi—fu，HANJian，SUNHong—wei r．ChangchunUniversityofScienceandTechnology，SchoolofElectro—opticalEngineering,Changchun130022,China,2． ChangchunUniversiytofScienceandTechnology，InstituteofSpaceElectro—opticalTechnology,Changchun130022，China) Abstract：Thelaserinthebandof355nm and266nm canbeproducedby1064nm YAGlaserthroughnon linearopticalrfequencyconversionmode．Highreflectionfrom doublebandsmustbemetbythemirroroperatingin thesystem．Accordingtofilm designtheory，theappropriatecoatingmaterialischosen ． Basedonelectronbeam ion assisteddeposition(IAD)technology，throughoptimizingparametersandrepeatingtests，thedoublebandmirroris manufacturedonqua~zsubstrate，thereflectivityiS97．9％ at355nm and96． 8％ at266nm．thelaserinducedana． agethreshold(LIDT)is1．76J／cm at355nmand1．12J／cm。at266nmuhravioletband．Testresuhssh0Wthatall thecharacteristicsofthemirroraccordwithoperationrequirements． Keywords：highuhravioletreflectionmirror；laserinducedamagethresholdfLIDT)；ionassisteddeposition (IAD)；thinfilm 紫外激光器具有光束质量好 、波长短 、单光子 外激光器向高能量发展的技术难题之一正是薄膜 能量高 、分辨率高 、稳定性好及体积紧凑等诸多优