AVF故障讯息.xls

Sheet3 Sheet2 Sheet1 * 两脚插入不良. * 自动或半自动更换基板时, * LOADER轨道,UNLOAD轨道 * 调整或交换LOADER, 气缸无法执行更换基板动作. 回复开关,GUIDE上升极限 UNLOAD回复极限,GUIDE上 CARRY回复极限,定位检出开 升极限,CARRY回复极限,定位 关等是否ON. 检出开关. * 检查以上开关的装置位置. * 对于MAIN CPU和平部队010 * 检查连接是否恰当. 基板通信时,从010基板没有任 * 010基板失效. * 更换010基板. 何回应. * X,Y TABLE不在原点. * LOADER与UNLOADER轨道 * 因机械关系造成前进极限开关 * X,Y工作台使之回原点. 气缸一起ON时,而LOADER与 没有ON. RAIL NO DOWN ERROR UNLOADER前进极限开关没 * 前进极限开关位置不良. * 调整前进极限开关位置. 有ON时. * 前进极限开关不良. * 更换前进极限开关. * 光藕不良.LOADER,UNLOAD 轨道前进极限开关ADD150,160 * 机械问题造成下降极限开关 * 导引装置(GUIDE)气缸ON时, * 下降极限开关位置不适当. * 下降极限开关位置确认与调整 GUIDE NO DOWN ERROR 下降极限开关没有ON时. * 下降极限开关不良. * 更换下降极限开关. (导引装置下降极限开关 * 机械问题造成前进极限开关 * 当基板搬运(CARRY)气缸ON * 前进极限开关位置确认与调整 时,前进极限开关没有ON时. * 因机械关系造成上升极限开关 * 导引装置（GUIDE）气缸OFF * 上升极限开关位置装置不良. * 上升极限开关装置位置确认与 时,上升极限开关却没有ON. * 上升极限开关不良. 调整. * 光藕不良. * 更换上升极限开关. (导引装置上升极限开关ADD164) * 因机械关系造成回复极限开关 * 回复极限开关位置装置不良. * 回复极限开关装置位置确认与 气缸一起OFF时,LOADER与 * 回复极限开关不良. UNLOADER回复极限开关却 * 更换回复极限开关. (LOADER回复开关ADD151, UNLOADER回复开关ADD161) * 基板搬运(CARRY)回复与前进 气缸一起OFF时,回复开关却 (CARRY回复开关ADD167), * 在G1,T4条件下,没有基板从堆 积装置被送出至基板检出2开 * 基板堆积侧没有基板. * 确认基板堆积侧有无基板. 关,连续使LOADER无法动作达 * 要求信号没有送出(前工程侧). * L.STOP开关在ON时. P.C.B WAITING ERROR 15秒. * 基板检出2开关不良. * 调整或更换基板检出2开关. * 在G1,T4条件下,基板检出2有 基板状况下,UNLOADER轨道 * 要求信号没有送来(后工程侧). * 确认后工程部分. 部分却没有基板流动的状态 达15秒. * 基板检出2开关ON计时器的 * LOADER动作中,基板搬运失败 * 基板停止位置不良. 造成基板停留在基板检出2开 * 导引装置(GUIDE)下降极限位 * 检查导引装置(GUIDE)下降 关(LOADER ERROR). 置不良,造成基板搬运动作在 极限开关位置. 导引装置下降前即动作. * 检查导引针的尺寸. * 导引针与基板孔穴不合. * 检查基板搬运启动计时器. * 在LOADER动作中,定位导引针 * 基板定位装置不顺. * 调整基板. 没有适当的进入基板参考孔, * 定位导引针和基板基准孔不合 * 定位导引针的基板孔穴径确认 且X.Y工作台上定位开关没有 * 基板搬运前进极限开关,定位 *