《研磨机测试结果130322》.pptVIP

研磨条件 抛光产品： 白玻璃 / TFT玻璃 370*470mm/450*480mm 上盘摇动频率： 25Hz 上盘旋转频率： 30Hz 下盘旋转频率： 40Hz 预压压力： 负0.05 MPa 预压时间： 15 sec 玻璃位置： 白玻璃（图2） TFT玻璃（图3） 测试盘水平度 白色区域比暗色区域低10-20um（图1） 研磨压力： 0 MPa 图2 图1 图3 研磨切削率 上片白玻璃不同时间切削量曲线图 上片白玻璃 时间 Xa Xb Xc Xd Xe Xf Xg Xh 片极差 切削率 5min 研前厚 408 410 400 400 406 410 402 403 14 0.350 研后厚 407 406 399 399 405 408 400 401 点极差 1 4 1 1 1 2 2 2 接上再研磨 10min 研前厚 407 406 399 399 405 408 400 401 24 0.300 研后厚 403 397 395 399 404 406 399 398 点极差 4 9 4 0 1 2 1 3 20min 研前厚 404 406 400 400 401 408 407 404 57 0.356 研后厚 398 392 390 395 399 402 401 396 点极差 6 14 10 5 2 6 6 8 下片白玻璃 时间 点位 X1 X2 X3 X4 X5 X6 X7 X8 片极差 切削率 5min 研前厚 410 411 406 408 408 412 410 410 17 0.425 研后厚 407 410 405 405 406 407 409 409 点极差 3 1 1 3 2 5 1 1 10min 研前厚 384 380 375 373 371 377 382 384 28 0.350 研后厚 383 376 369 370 370 370 379 381 点极差 1 4 6 3 1 7 3 3 接上再研磨20min 研前厚 383 376 369 370 370 370 379 381 50 0.313 研后厚 381 367 358 360 366 361 377 378 点极差 2 9 11 10 4 9 2 3 下片白玻璃不同时间切削量曲线图 TFT玻璃 时间 点位 X1 X2 X3 X4 X5 X6 X7 X8 片极差 切削率 20min 研前厚 593 609 598 590 599 606 592 577 80 0.500 研后厚 583 600 593 581 585 593 583 566 点极差 10 9 5 9 14 13 9 11 接上再研磨 20min 研前厚 583 600 593 581 585 593 583 566 50 0.313 研后厚 573 591 589 573 578 589 581 560 点极差 10 9 4 8 7 4 2 6 T F T 玻璃不同时间切削量曲线图 研磨结果 1. 同条件下，中心点位X6、Xb切削量较大，说明上盘中心区域点切削量较大 2. 以上数据显示同一片玻璃重复研磨，切削率会略微下降 3. 非重复研磨20min条件下，单片白玻璃平均切削率为0.356um/min 4. 非重复研磨20min条件下，单片TFT玻璃平均切削率为0.50um/min 5. 研磨时间20min内单片玻璃切削量差值为12um，远小于20um 综述：研磨机整体切削率均匀性良好