《《2016林龙－人工晶体学报－氧气流量对射频磁控溅射制备Cu_2O薄膜性能的影响》》.pdfVIP

下载本文档

5
0
约 6页
2015-10-15 发布于河南
举报
版权申诉

《《2016林龙－人工晶体学报－氧气流量对射频磁控溅射制备Cu_2O薄膜性能的影响》》.pdf

1、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

《《2016林龙－人工晶体学报－氧气流量对射频磁控溅射制备Cu_2O薄膜性能的影响》》.pdf

39 5 人工晶体学报 V ol. 39 N o. 5 2010 10 JOURNAL O F SYNTHET IC CRY STA LS O c tober, 20 10 Cu O 2 林龙,李斌斌,鲁林峰,江丰,沈鸿烈 , 2 100 16 ) : Cu O , X XRD ) 2 A FM ) X XPS) Cu O : 4. 2 sccm 2 , Cu O, , 2. 29 eV, p 2 2 1016 cm3 XPS Cu 2p O 1s, Cu + 1 3 /2 : ; ; ; ; : O 484 : A : 1000985X 2010) Effect ofOxygenFlowRateon thePropertiesofCuprousOxide Thin Films Sputtered byRF agnetron LIN Long, LIBinbin, LULinf eng, JIANG Feng, SHEN H onglie C ollege of M aterial S cience and T echn ology, N anj ing U n iversity of A eron aut ics and A s tronau tics, N anjing 2 100 16, Ch ina) (Received 26April 2010, accepted 6 ay 20 10) Abstract:Cuprous ox ide Cu O ) thin f ilm s w ere deposited on g lass substrate by m agnetron sputtering 2 m ethod. T he influence o f oxygen flow rate on the propert ies o f Cu O thin film s w as investigated by X ray 2 diffraction XRD ), UV v is spectrophotom eter, atom ic force m icroscope AFM ) and X ray pho toe lectron spe