一种精确测定芯片内部微纳几何结构的方法.pdfVIP

下载本文档

8
0
约2.01万字
约 5页
2015-09-30 发布于湖北
举报
版权申诉

一种精确测定芯片内部微纳几何结构的方法.pdf

1、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

一种精确测定芯片内部微纳几何结构的方法.pdf

（）第卷第期扬州大学学报自然科学版１３３Ｖｏｌ．１３Ｎｏ．３年月（）ＪｏｕｒｎａｌｏｆＹａｎｚｈｏｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅＥｄｉｔｉｏｎ２０１０８ｇｙＡｕ．２０１０ｇ一种精确测定芯片内部微纳几何结构的方法１ １２，，刘剑霜李伙全陈一　（，；，）１．扬州大学物理科学与技术学院江苏扬州２２５００２２．复旦大学材料科学系上海２００４３３：（，摘要提出一种利用高分辨率透射电子显微镜ｈｉｈｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏ简称　ｇｐｙ），、ＨＲＴＥＭ对半导体芯片内部微纳几何结构的精确测量方法分别讨论了测定过程中制样的影响测量、设备放大倍率的校验样品晶向校对以及不同情况下内标法和标称法的选用该方法对半导体工业中．ＨＲＴＥＭ的应用有一定的指导意义．：；；；关键词半导体芯片微纳几何结构高分辨率透射电子显微镜内标法中图分类号：文献标志码：文章编号：（）ＴＮ３０７Ａ１００７８２４Ｘ２０１００３００５００４　　　　　　　半导体芯片内部微结构的尺寸测定和形貌分析是半导体制造中质量控制和失效分析的重要内［］［］１２、容半导体制造工艺在材料制备设备操作和工艺控制等方面均要求很高的精确度随着制造工．．，，艺的不断进步当前半导体工业已经进入６５ｎｍ以下级技术时代工艺特征尺寸和