GCr15轴承钢表面PⅢD处理膜层膜基结合力的研究.pdf

第 卷 第 期 真 空 科 学 与 技 术 学 报 RN S 年 、月 （ ） R))N % P VLWWX ?’Y@Y L@( 1Y@M6M!. ’@L RSS !#$% 轴承钢表面’’’( 处理膜层膜基结合力的研究 ! 王宇航 汤宝寅 王浪平 王晓峰 甘孔银 于永 刘洪喜 王松雁 （哈尔滨工业大学材料学院现代焊接生产技术国家重点实验室 哈尔滨 $%)))$） !#$%’()’* +,-$.)/ / 01%$% 2$’%)3 4#$$* ’, 5)6 7)*8. 0%/9 :; *’.8’ !88$%.)/ !/ !8=*’#’#)/ ’, $=/.)#)/ ! ， ， ， ， ， ， *+,- ./0+,- 1+,- 2+345, *+,- 6+,-75,- *+,- 85+39:,- !+, ;3,-45, ./ .3,-0+3 65/ 3,-=5 +, *+,- ?3,-4+, （ ， ， ， ， ） !#$% ’()%)*)+ ,- .+/0,1,23 4))+ 5+3 6$,#),#3 ,- 789/+8 :+18%2 ;#,8*/)%, )+/0,1,23 !#$% $%)))$ =0% （ ） +:.#%’(# 15@ 95ABC D:#: -#3D, E4 7A+CB+ 5BB:#C53, 53, 5B7A+,F+F53, G3BE5,: D5F0 :73C5F53, ’’’( 3, !#$% E:+#5,- CF::A C/EH CF#+F:CI 10: 5,F:#9+G5+A +0:C53, D+C CF/5:I *: 93/, F0+F C/#9+G: GA:+,5,- 39 F0: C/ECF#+F: E4 +#-3, 53, C7/FF:#5,- +, 7#37:# E/99:# A+4:# B+4 5,G#:+C: F0: 5,F:#9+G5+A +0:C53,I J5AB -#3DF0 G3,5F53,C， C/G0 +C E5+C K3AF+-: +, F0: #+F53 E:FD::, :73C5F53, +, 5B7A+,F+F53, B+4 +AC3 :99:GF F0: 5,F:#9+G5+A +0:C53, F3 + K+#45,- :-#::I ， ， ?$;9/%,. A+CB+ ’BB:#C53, ’3, ’B7A+,F+F53, +, :73C5F53, L0:C53, ?G#+FG0 F:CF 摘要 采用等离子体浸没离子注入沉积（’’’(）技术在!#$% 轴承钢表面形成15@ 薄膜，并采用划痕法对不同参数条件 下膜层的膜基结合力进行了测量。结果发现：适当的氩离子溅射清洗和加入合适的过渡层可以提高膜基结合力，而且膜基结 合力也会随着注入电压和注入量与沉积量比例的变化而改变。 关键词 等离子体浸没离子注入与沉积 结合力 划痕法 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） M NON L $PQRHQ$RP R))N )SH)RSSH)% 轴承是应用最为广泛的精密机械零件之一，轴 薄膜， 过程通过 射频辉光放