- 1、本文档共5页,可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
Si基外延GaN中位错的光助湿法化学显示
第 卷 第 期 半 导 体 学 报
! # 5678! (68#
! ! ! !
! !
年 月 !
!$$# # %’()*)+,-.(/0 ,1*)2’%,(3-%4,.* +9:;!$$#
基外延 中位错的光助湿法化学显示
% 3P
!
P P O P P P P
赵丽伟 刘彩池 滕晓云 郝秋艳 朱军山 孙世龙
! ! ! ! !
P P ! !
王海云 徐岳生 冯玉春 郭宝平
! ! !
河北工业大学材料学院 信息功能材料研究所!天津 $
P M$$PM$
!
深圳大学光电子学研究所!深圳 $
! NPT$#$
!
摘要!采用 卤钨灯作为光源!对 外延膜在 溶液中进行化学腐蚀!以显示晶体位错 采用扫描电
P$$$S UG( h, 8
子显微镜%原子力显微镜观察位错密度及表面形貌!得到了清晰的腐蚀图形 提出了腐蚀机理!光照激发位错处产
8
生电子 空穴对!加速位错处的腐蚀速率 表面出现了大量的六角腐蚀坑位错露头$优化了 溶液的腐蚀
W 8UG( 8 h,
条件8
关键词!UG(湿法化学腐蚀六角腐蚀坑
#
=+CC #P$/ #TNN !T$0
中图分类号! 文献标识码! 文章编号! #
12M$VY$NN 3 $!NM4VP!$$# $#4P$V#4$N
! ! ! ! ! !
的优化腐蚀工艺+
J 引言
!
K 实验
!
562 熔点和饱和蒸汽压高!很难制备出体单
晶!因此它都是在其他衬底上通过异质外延而获得 样品是用金属有机化学
您可能关注的文档
- 高考物理全部内容优化探究模拟试系列.doc
- 黄土梁子初级中学校本课程《阳光体育大课间》开发与实践.doc
- 黑色大地攻略.ppt
- 齐云山实习报告.doc
- !五香卤水制作全攻略.doc
- (UTh)/He定年―――低温热年代学研究的一种新技术.pdf
- (五)勘察质量薄弱环节的预防措施.doc
- (值)双目视觉的立体标定方法.pdf
- (省市区县)基层单位数据上报操作流程.doc
- (高三复习)二次方程的根的分布问题.ppt
- 2025年度退役军人事务部直属事业单位招聘工作人员(11人)考前自测高频考点模拟试题及完整答案详解一.docx
- 2025年上海市嘉定区绿化和市容管理局外聘法律顾问选聘笔试备考试题及答案详解(各地真题).docx
- 2025浙江省文化广电和旅游厅关于部分直属事业单位招聘高层次人才(博士)考前自测高频考点模拟试题及一.docx
- 2025山东青岛胶州市“优才聚胶”计划综合选聘(第二批)11人模拟试卷附答案详解(典型题).docx
- 2025年嫩江市招聘农垦社区工作者(88人)考前自测高频考点模拟试题含答案详解(巩固).docx
- 2025年鞍山市岫岩满族自治县事业单位面向应届毕业生招聘高层次急考前自测高频考点模拟试题含答案详解a.docx
- 2025年中共西林县委西林县人民政府接待办公室招聘编外聘用人员笔试备考试题含答案详解(b卷).docx
- 2025年度生态环境部淮河流域生态环境监督管理局生态环境监测与科考前自测高频考点模拟试题附答案详解(.docx
- 2025年北京市烟草专卖局(公司)应届高校毕业生招聘(30人)考前自测高频考点模拟试题附答案详解(名.docx
- 2025年新巴尔虎右旗委党校引进急需紧缺专职教师工作(5人)模拟试卷含答案详解.docx
文档评论(0)