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基于MEMS技术的气体传感器
( )
2008年 第 27卷 第 11期 传感器与微系统 Tran sducer and M icro system Techno logie s 5
基于 M EM S技术的气体传感器
李 珂 , 于世洁 , 尤 政 , 赵嘉昊
(清华大学 精密仪器与机械学系 微光机电集成技术研究室 ,北京 100084)
摘 要 : 综述了目前国内外主要 M EM S气体传感器的原理 ,包括谐振式微悬臂梁型 、声表面波型 、阻抗变
( )
化型 、声光法 、气体光谱 、催化燃烧式和高场非对称波形离子迁移谱 FA MI S 检测法 。对各种传感器的特
点进行了比较 。
关键词 : 微机电系统 ; 气体传感器 ; 技术
中图分类号 : TP2 12. 2 文献标识码 : A 文章编号 : 1000 - 9787 (2008) 11 - 0005 - 03
Ga s sen sor ba sed on M EM S technology
L I Ke, YU Sh ij ie, YOU Zheng, ZHAO J iahao
(M icro Electro M echan ica l Sy stem s Research L abora tory, D epartm en t of Prec ision In strum en ts
and M echan ology, Tsinghua Un iversity, Be ij in g 100084, Ch ina)
A b stract: The p rincip le s of gas sen sors ba sed on M EM S techno logy at hom e and abroad are summ arized, wh ich
include re sonate m icro can tilever, SAW , conductor detect, p hotoacou stic sp ectro scop y, gas sp ectrum , catalytic
com bu stion and FA MI S. The characteristic s of all k ind s of sen sor are comp ared.
Key word s: M EM S; ga s sen sor; techno logy
0 引 言 年就由贝尔发现 ,但直到 20世纪 80年代 ,随着激光器和高
气体检测在人们生产生活中的应用十分广泛 ,特别是 灵敏麦克风技术 的成熟 , 才在气体传感器领域得到研
在安全生产方面 ,如 ,矿井作业 、毒气的生产运输 。气体传 究 [ 2 ] 。光声气体传感器 由调制光源 、光声池 、高灵敏麦克
( )
感器 直接 关系 到人们 的生命 财产 安全 。微机 电系 统
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