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2015-09-27 发布于重庆
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一种基于有限元分析的柔性支撑结构设计

第3 1卷第1期长春理工大学学报（自然科学版） Vol.31 No. 1 2008年3月 Journal of Changchun University of Science and Technology （Natural Science Edition） Mar. 2008 一种基于有限元分析的柔性支撑结构设计 1，2 1 杨利伟，李志来（1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，长春 130033 ；2.中国科学院研究生院，北京 100039 ）摘要：为了满足反射镜较高的面形精度要求，提出了一种基于有限元分析的柔性支撑结构。首先根据反射镜的设计要求确定柔性支撑的结构形式，然后利用有限元分析软件对反射镜组件进行网格划分并提交运算。分析结果表明，当柔性支撑中镶嵌件膜片厚度为 1.5mm 、柔性杆十字槽厚度为 4mm 时，反射镜组件的一阶谐振频率达到 206Hz ，在 1g 重力作用下镜面综合面形误差RMS 值分别达到2.5nm 、4.4nm 、25.3nm ，在 1g 重力和4 ℃温升共同作用下镜面综合面形误差RMS 值分别达到15.2nm 、17.7nm、28.5nm ，各项指标均满足设计要求。动力学响应分析表明，柔性支撑具有较强的抗振能力。关键词：反射镜；柔性支撑；有限元中图分类号：TH745 文献标识码：A 文章编号：1672 －9870 （2008）0 1 －0049 －04 Design of a Flexible Supporting Structurebased on Finite Element Analysis YANG Liwei1，2 ，LI Zhilai1 ( 1. Changchun Institute of Optics，Fine Mechanics and Physics Chinese Academy of Sciences ，Changchun 130033; 2.Graduate School of the Chinese Academy of Sciences，Beij ing 100039) Abstract ：In order to meet the increasingly high accuracy of the mirror ，a flexible support structure was proposed by the finite element analysis. According to the design requirements of the mirror ，the flexible supporting structure was designed， then the finite element analysis software was used to mesh and submit the operator. The results showed that the one order res- onant frequency could reach 205 Hz; RMS of the integrated surface error of the mirror in the effects of gravity may get to 2.5 nm ，4.4nm ，25.3nm ，and RMS of the integrated surface error of the mirror in the effects of gravity and temperature may get to 1