DLC薄膜的表面形貌及其摩擦学性能研究.pdfVIP

2005年 7 月 润滑与密封 Ju ly 2005 ( ) 第 4 期 总第 170期 LUBR ICA TION EN GIN EER IN G No4 ( serial No170) DLC薄膜的表面形貌及其摩擦学性能研究 1, 2 2 1 白秀琴 　李 　健 　严新平 ( 1武汉理工大学可靠性工程研究所 　湖北武汉 430063; 2. 武汉材料保护研究所 　湖北武汉 430030) 摘要 : 以真空蒸发碳离子束辅助镀膜法制备了 DLC 薄膜 , 通过原子力显微镜 (A FM ) 和扫描电子显微镜 ( SEM ) 观察了该薄膜的表面形貌 , 对该薄膜的表面形貌对其摩擦学行为的影响进行了研究 。研究发现 : 用真空蒸发碳离子束辅 助镀膜的方法制备的类金刚石薄膜表面光滑 , 颗粒均匀 , 粒度小 , 摩擦因数降低 ; DLC 薄膜比弹簧钢片及 Ti6A l4V 球基 体耐磨 ; DLC薄膜的摩擦学性能在摩擦过程中会进一步改善 。 关键词 : DLC薄膜 ; 真空蒸发离子束辅助镀膜 ; 表面形貌 ; 摩擦学性能 中图分类号 : TG174　文献标识码 : A 　文章编号 : 0254 - 0 150 (2005) 4 - 0 19 - 3 Study on the Surface Topography and Tr ibolog ica l Properties of DLC F ilm s 1, 2 2 1 B a i X iu q in 　L i J ia n 　Ya n X inp in g ( 1. R eliab ility Engineering In stitu te,W uhan U n iversity of Techno logy,W uhan 430063 , Ch ina; 2. W uhan R e search In stitu te of M aterials Protection,W uhan 430030, Ch ina) + A b stract:DLC film s was p rep ared by C ion beam and vapor depo sition , their su rface topography was ob served through AFM and SEM , and the influence of their surface topograp hy on their tribological behavior wa s exam ined. It is found DLC + film s p rep ared by C ion beam and vapor depo sition have a fine su rface w ith sm all and even grain s, the friction exp erim ent in