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用激光干涉仪测量三坐标测量机的动态特性_董晨松
1998 9 31 5 Sep. 199 8 JOURNAL OF TIANJIN UNIVERSITY V o l. 3 1 N o. 5 * 董晨松 穆玉海 张国雄 () 提出了一种用激光干涉仪测量三坐标测量机动态误差的方法,分析了激光干涉仪的测量 原理并分别对 描测量和触发测量中的动态误差进行了模拟测量. 实验结果表明,运动中的加速 度产生的附加惯性力是产生动态误差的重要因素. 由于惯性的原因, 描测量中换向时产生的误 差大约是同样条件下惯性力造成误差的 2倍. , ,, , 161. 3 T H ASSESSING THE DYNAMIC CHARACTERISTICS OF CMMS WITH A LASER INTERFEROMETER Dong Chensong Mu yuhai Zhang Guoxiong ( Schoo l o Precisio n Inst ruments a nd O pto elect ro nics Engineering , Tianjin U niv er sity ) Abst act A method o mea suring th e dy namic er ro rs o CM M s w ith a la ser inter ero meter is giv- en in this paper. The w o rking principle o the laser inter ero meter is a na ly zed and the dynamic er- - . ro rs ar e measured in the scanning pro bing a nd touch trigg er pro bing r espectiv ely The r esults show that accele ratio n or ce is th e sig ni icant acto r cau sing dynamic er ro rs . W hen the probe cha ng es its directio n in the scanning measurem ent the er ro r is abo ut tw ice as much as that ca used by the same accelera tio n o rce due to the in luence o iner tia. Keywo ds la se r inter e rom eter, coo rdina te measuring machine ( CM M ) , dynamic er ro r, scanning probing , to uch -trigg er pr obing ., . 、 ,. , . , ,,. 1996 12 24. 1997 3 17. * 2 1( 9637022 11) . * * 1972, , . Born i n 1972, mal e, doctoral st udent. ·622· 1998 9 . . 1 ( 1) . x , y , z , . 700 × 600 ×400 ..
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