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泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶的等径控制方法.pdf
4 1 1 人 工 晶 体 学 报
第 卷 第 期 Vol． 4 1 No． 1
2012 2 JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS February ，2012
年 月
泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶的等径控制方法
，
邵 伟 杨军良
( ， 7 10048)
西安理工大学机械与精密仪器工程学院 西安
: ， ， 。
摘要 在泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶的过程中 为了获得高质量的晶体 精确等径控制至关重要 本文根据晶体
， 。 (OAPW_ GMV)
的重量变化率来控制热场 实现晶体等径生长 设计了应用在线整定多项式权值的广义最小方差
， 。 OAPW_GMV ，
控制方法 并建立了系统模型 该方法的主要思想是根据在线估计的被控对象参数及 的输出 调整多
， 。 ，
项式的权值 实现炉内的热场控制 仿真和实验结果表明该控制方法实现了蓝宝石单晶的精确等径控制 有效地
提高了蓝宝石单晶的质量。
: ; ;GMV ;
关键词 泡生法 大尺寸蓝宝石单晶 控制 等径生长
中图分类号:O79 文献标识码:A 文章编号:1000-985X (2012)01-0253-05
Diameter Controlling Method of Large Size Sapphire
Single Crystal Grown by Kyropoulos Method
SHA O Wei ，YANG Jun-liang
(School of Mechanical and Precision Instrument Engineering ，Xi＇an University of Technology ，Xi＇an 7 10048 ，China)
(Received 1 November 20 11，accep ted 17 November 20 11)
Abstract :To obtain high quality crystals ，a precision diameter-constant controlling method was required in
the growth process of large size sapphire single crystal by Kyropoulos method． Based on the weight of the
crystal to c
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