多孔SiO2膜的制备和增透性能研究.pdf

第31卷第2期 硅 酸 盐 通 报 v。1．31N。．2 1111生!旦 望旦垦兰曼!!堕Q里!垡垦垦堕!盟垦!坚堡垦壁垒塑!堡!Q竺!垦!! 垒P堕!：!!!! 多孔Si02膜的制备和增透性能研究 王贺，魏长平，彭春佳，李丛昱，程果 (长眷埋1大学化学与环境工程学院，长春130022) 摘要：采用溶胶-凝胶结合旋转涂膜法在玻璃基底上制备SiO：薄膜，研究了陈化时间和旋涂速度对SiO：膜增透性 能的影响，利用热分析仪、x射线衍射仪、红外光谱仪、扫描电镜、分光光度计、椭偏仪等方法分别对干凝胶的热分 解过程、晶体结构、微观形貌、透过率和折射率进行表征=结果表明：膜层透过率与制备条件有-定的规律，随着陈 化时间的延长和旋涂速度的增加，增透峰中心波长发生了移动。在最佳工艺条件下，制备的SiO：薄膜具有较好的 增透性能，在玻璃上镀SiO：增透膜后，峰值透过率(300～1000nm)由90％提高到95％，其膜厚为315nm，折射率为 1．352，孔隙率为27％，进一步提高了可见光利用率。 关键词：溶胶-凝胶；SiO，；多孔；增透膜 中图分类号：0613 文献标识码：A on and Anti—reflective StudyPreparation ofPorousFilm Properties Si02 WANG Guo He，WEIChang-ping，PENGCh龇．j泌，LlCo凡g—yu，CHENG of andEnvironmental ofScienceand (SchoolChemistry Engineering，ChangchunUniversity Technology，Changchun130022，China) methodwasintroducedto filmscoatedonto substrates．The Abstract：Sol—gel prepareporousSi02 glass effectsofthe rateontheanti—reflectiveof filmshavebeenstudied． agingtime，spinning propertiesSi02 Thethermal andrefractiveindexofthe structure，microstrueture，transmittance decomposition，crystal werecharacterized and samples byTG—DSC，XRD，Fr-IR，SEM，spectrophotometer ellipsometer．The resultsshowedthatthetransmittanceoffilms center conditions，the controllingbycha