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2009年 6月 贵 州 化 工 第 34卷第 3期 Guizhou Chemical Industry 7 改良西门子法生产多晶硅工艺设计探讨 杨 涛 (, 550002) , , ;; T 304. 12 A 1008- 9411( 2009) 03- 0007- 05 2 多晶硅生产方法概述 , , , ,, , 20%, , , , , 5~ 10 : ,, , 80% 2. 1 1955, 1 多晶硅及其性质 ( SHi Cl ) 3 , 1957, , , , , SiCl , 4 , , , SiHCl 3 , , ( ,; ), () , , , , , 9 9, - 9 , 0. 110 , : , 2. 32~ CVD() 2. 34, 1410, 2355, , , , 2. 2 800 , 1300 1956, , (SiH ),
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