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硅纳米线的制备技术及应用研究新进展.pdf
化 工 进 展 ·274· CHEMICALINDUSTRYANDENGINEERINGPROGRESS2010年第29卷第2期 硅纳米线的制备技术及应用研究新进展 邓皓月,张云怀,尚 鹏,曹六俊,卢 露,杨雁南 (重庆大学化学化工学院,重庆400044) 摘要:综述了硅纳米线制备技术的必威体育精装版进展,系统介绍了激光烧蚀法、化学气相沉积法、热蒸发法、溶液法, 电化学法和硅衬底直接生长法等方法,比较了不同方法在硅纳米线可控制备中的优缺点,着重阐述了硅纳米线在 传感器、光电子器件,锂离子电池等方面的潜在应用,探讨了目前存在的问题及其今后的研究发展方向。 关键词:硅纳米线;制备;传感器;光电子器件;锂离子电池 中图分类号:TN304.1 文献标识码:A 文章编号:1000—6613(2010)02—0274—07 inthe and ofsiliconnanowires Progress preparationtechniquesapplications DENG Yunhuai,XIAO Lu,YANGYannan Haoyue,ZHANG Peng,CAOLiujun,LU of andChemical 400044,China) (CoHegeChemistry Engineering,ChongqingUniversity,Chongqing Abstract:nlerecent inthe ofsiliconnanowiresiS themethods progresspreparation reviewed,including oflaserablation,chemical vapordeposition(CVD),thermal anddirect onsilicon and ofthesedifferentmethods technique growth substrate.Advantagesdisadvantages incontrolled ofsiliconnanowiresalediscussed.A reviewis onthelatest given preparation comprehensive inthe ofsiliconnanowiresfor devicesandlithiumion progressapplications sensors,optoelectronic battery. andtheresearch arediscussed. trends Finally,theexistingproblems development words:silicon Key device;Li-ion nanowires;preparation;sensor;photoelectronbattery 硅纳米线(siliconnanowires,SiNWs)作为一 对SiNWs作为纳米传感器检测气体、pH值、生物 维硅纳米材料的典型代表,除具有半导体所具有的
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