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四点探针 李舒坤 2013年02月07日 内容 1.原理 2.电阻率 3.方阻 四探针测试原理 电阻率 、方阻 样品 方阻 当L=W时，即为正方形时，所测得电阻为方块电阻。 R =ρ/d………6 由上式可知道 方阻只与样品d(厚度)有关。 电流方向 * 四根等距探针竖直的排成一排，同时施加适当的压力使其与被测样品表面形成欧姆连接，用恒流源给两个外探针通以小电流I，精准电压表测量内侧两探针间电压V. R=V/I …….. 1 表面层 空间电荷层（界面层） 基体 L W d R=ρ(L/S) ….. 2 S=W*d ……..3 由1和2式可得 ρ=SV/LI ….4 ρ=CFSV/LI…..5 C为探针系数，F为校正因子 L1 L2 L1,L2分别是太阳电池的细栅线 *
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