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脉冲激光沉积ZnO薄膜的制备及其性能研究,zno薄膜,脉冲激光沉积,薄膜制备技术基础,薄膜的制备方法,溶胶凝胶法制备薄膜,薄膜沉积,薄膜制备方法,薄膜制备,脉冲激光沉积系统
第 卷第 期 Vol.45,No.5
45 5 真 空 VACUUM
年 月 Sep.2008
2008 9
脉冲激光沉积ZnO薄膜的制备及其性能研究
1 1 2
赵跃智 曹钦存 ,陈长乐
,
( 洛阳理工学院 材料系,河南 洛阳 西北工业大学 应用物理系 陕西 西安 )
1. 471023;2. , 710072
摘 要:本文用脉冲激光沉积 法在 基片上制备了 薄膜和 薄膜。 射线衍射、原
(PLD) SiO ZnO Zn MnO X
2 1-x x
子力显微镜、紫外 可见光分光光度计对 薄膜的测试结果表明:薄膜具有( )面的择优取向,表面
- ZnO 103
比较平坦 ; 基片上制备的薄膜在 附近存在明显的吸收边,且薄膜的吸收对基片温度变化不明
SiO 387nm
2
显。通过对 薄膜的吸收光谱分析得出: 离子的掺杂改变了 薄膜的禁带宽度,随着 离
Zn MnO Mn ZnO Mn
1-x x
子掺杂量的增加,薄膜禁带宽度增加 ;薄膜的光吸收也从直接跃迁过渡为间接跃迁。
关键词: ; 薄膜 ; 薄膜 ;光吸收谱
PLD ZnO Zn MnO
1-x x
中图分类号: + 文献标识码: 文章编号 : (
TN304.21 A 100205-0065-03
PreparationofZnOthinfilmsbyPLDandtheircharacteristics
1 1 2
ZHAOYue-zhi,CAO Qin-cun,CHENChang-le
(1.DepartmentofMaterial,LuoyangInstituteofScienceandTechnology,Luoyang471023,China;
’
2.DepartmentofAppliedPhsics,NorthwesternPolytechnicalUnive
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