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工艺装备 , 2010, 24 ( 6): 377~ 379
SIL ICONE MATER IAL
*
周 谧, 屈 敏, 黎展容, 蒲晓东
(, 614000)
: 讨论了工业硅粉中FeA lC a等杂质的含量对三氯氢硅 成系统的启动以及正常运行时的影
响, 并选择不同杂质含量的硅粉进行实验, 以找到最适 三氯氢硅 成的生产工艺
: 三氯氢硅, 成, 工业硅粉, 三氯化铝
: TQ 1272 : A : 1009- 4369 ( 2010) 06- 0377- 03
(HCl) ,
, Fe 300 ! ,
A l Ca, , 1
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, A l
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1
,
[ 3]
, X- 03
2 0~ 320 ! 02~ 04 MPa
, 1 2
2 0~ 320 ! 21
Si+ 3HCl SHi Cl + H + 210 kJ/mol
3 2
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SiClSiH Cl
, 4 2 2
3: ( 5~ 6)
2 0 !
2 0~ 320 ! ; Si+ 2HCl SHi C l + 105 kJ /mol ( 5)
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HCl; 350 !
Si+ 4HCl SiCl + 2H + 229 kJ/mol ( 6)
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HCl ( 2~ 4)
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