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2015-09-04 发布于湖北
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第2 期电子元件与材料 Vol.24 No.2 2005 年2 月 ELECTRONIC COMPONENTS MATERIALS Feb. 2005 研究与试制 R D BST 薄膜的微结构研究陈宏伟，杨传仁，符春林，赵莉，高志强（电子科技大学微电子与固体电子学院，四川成都 610054）摘要:采用射频磁控溅射法在Pt/Ti/SiO /Si 衬底上制备了钛酸锶钡(BST)薄膜。利用X 射线光电子能谱（XPS）、X 2 射线衍射(XRD)分别研究了BST 薄膜的成分、晶体结构。用优化的成膜工艺制备出成分与靶材基本一致，具有钙钛矿结构的BST 多晶薄膜。利用扫描力显微镜中的压电模式(PFM)观察到了 BST 薄膜中的a 畴和c 畴，初步确定在BST 薄膜中多畴转变为单畴的临界尺寸为28~33 nm 。关键词:无机非金属材料；钛酸锶钡薄膜；射频磁控溅射；微结构；电畴中图分类号: TN384 文献标识码:A 文章编号:1001-2028 （2005）02-0029-03 Study on the Microstructure of Ba Sr TiO Thin Films x 1-x 3 CHEN Hong-wei, YANG Chuan-ren, FU Chun-lin, ZHAO Li, GAO Zhi-qiang (Institute of Microelectronics ＆ Solid State Electronics , University of Electronic Science ＆ Technology , Chengdu 610054, China) Abstract: BST thin films were deposited on Pt/Ti/SiO /Si substrates by RF magnetron sputtering. The composition and 2 crystalline structure of BST thin films were characterized by X-ray photoelectron spectrum (XPS) and X-ray diffraction (XRD). The composition of BST thin film with perovskite polycrystalline structure is close to that of the BST ceramics target by adjusting deposition conditions. Nanometer-sized a-domain and c-domain were observed by piezoresponse force microscopy (PFM). It is found that the critical size from a multi-domain to a single-domain is between 28~33 nm. Key words : inorganic non-metallic materials; BST thin f