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用金刚石车削技术制备EOS实验用铝薄膜和铜薄膜.pdf
第 卷 第 期 强 激 光 与 粒 子 束 , 18 3 Vol.18 No.3 年 月 , 2006 3 HIGH POWER LASER AND PARTICLE BEAMS Mar.2006 文章编号: ( ) 1001-4322200603-0427-04 用金刚石车削技术制备EOS实验用铝薄膜和铜薄膜* 谢 军, 黄燕华, 杜 凯, 袁光辉 (中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳 ) 621900 摘 要: 具有材料理论密度的金属薄膜对于材料高压状态方程( )研究而言具有重要的意义。本文 EOS 提出采用金刚石车削技术,利用超精密金刚石车床、金刚石圆弧刀具及真空吸附夹持技术,对纯铝和无氧铜进 行端面车削,完成了 EOS实验用铝薄膜和铜薄膜的车削加工,实现了薄膜密度接近材料理论密度。精加工工 艺参数为:进给量 / ,主轴转速 / ,切削深度 。采用 型触针式轮 0.001mm r 3000rmin 1 m FormTalsurfseries2 µ y 廓仪进行测量,结果表明:铝薄膜、铜薄膜厚度可以达到小于 水平,表面均方根粗糙度小于 ,原始最 10 m 5nm µ 大轮廓峰 谷高度小于 ,厚度一致性好于 。 - 50nm 99% 关键词: 金刚石切削; 状态方程; 铝薄膜; 铜薄膜 中图分类号: TG506 文献标识码: A 在材料高压状态方程( , )研究中,厚度为几 至几十 的金属薄膜对 实验 euationofstate EOS m m EOS q µ µ 用靶的制备有重要的意义。在靶的制备方面,对金属薄膜的形状精度有较高的要求,表面均方根粗糙度、最大 [ ] 峰 谷高度达到 级 1-6 ,而且要求薄膜的厚度一致性好于 。 国内外一般采用物理气相沉积(
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