洁净室压差控制方法选择及讨论.pdfVIP

!!#! $%% ’ · · 专题讨研 洁净与空调技术 年第 期 #$ 洁净与空调技术编辑部 严德隆 摘 要 对洁净室常用的压差控制方法进行归纳及讨论，并对其适用性等进行分析。 关键词 压差控制 定风量控制 直接压力控制 闭环控制 余压阀 定风量阀 !#$%’( )’* +(, -./..’( ’( 0*../* -))*(%+# 1’(%*’# 2%3’,. )’* 1#+(*’’4. ! #$% ’()*+# !#$%’$ AB.CDE4 DF GHB44IHB EJFFBHBK.J,L MDK.HDL FDH MLB,KHDD24 ,HB 4I22,HJNBE ,KE EJ4MI44BE0 (KE FDH OCJMC MLB,KP HDD24 .CBQ ,HB ,ERI,.B ,HB ,K,LQ4BE0 ()*+,%-# +HB44IHB EJFFBHBK.J,L MDK.HDL )DK4.,K. ,JH SDLI2B MDK.HDL TJHBM. GHB44IHB MDK.HDL )LD4BE LDDG MDK.HDL 8.,UJLJNBH E,2GBH )DK4.,K. ,JH SDLI2B E,2GBH # !)*+,-.*,+.)* !)*+/)0 #./1)*2.+.)*.*3 4516*)0)37 82.+)/,0 95:,/+-5*+ 至一定值时，人工及时调整便可。亦常在用定风量阀控制 ( 压差的建立 压差时，能自动维持送风量不变，亦有采用变速的送风机， 洁净室的送入风量与排出风量 压差风量 （余风量） 以过滤器压差或以实际送风量与设定送风量之差进行风机 ! 之间达到平衡便建立压差，这里的排出风量包括：需排往 转速控制，维持风量一定。 （）室外风压的变化 （室外风向及风速等引起），会影 室外的排风量及回风量。 $ 对直流系统是，新风量 排风量 压差风量 响洁净室的压差风量，引起室内压差的波动。 ! 对循环系统是，新风量 回风量 回风量 排风量 压差 对其控制也较容易，要求：围护结构及门等的气密性 ! ! ! 风量 好；洁净室对室外保持!#*+, 压差，相邻洁净室间保持! 所以归根到底，压差的实质是：新风量 排风量 压差 -+, 压差，建立必要的压差梯度当室外风压对洁净室最不利 ! 风量 时，尚能维持洁净室内的一定压差而不致出现问题。 （）洁净室门的启、闭，会引起洁净室压差的波动。 因此，洁净室压差建立的调整，都应体现新风量与排 % 风量!压差风量之间的平衡： 门开启时，两洁净室的压差不能维持，空气会双向交 （）对直流系统，送入一定的风量，调节