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高能量密度束流在玻璃加工中的应用.pdf
玻璃与搪瓷 No．6 第36卷第6期 V01．36 2008年12月 GLASS＆ENAMEL Dec．2008 高能量密度束流在玻璃加工中的应用’ 王承遇1，李松基2，陶 瑛1，张成贵2 (1．大连工业大学，辽宁大连116034；2．广州番禺大龙玻璃厂有限公司，广东广州511450) 摘要：高能量密度束流，如激光束、电子束、离子束，已用于玻璃的清洗、抛光、切割、打孔、刻花、内 雕等加工过程。阐述了高能量密度束流的特性及其加工玻璃工艺，并指出了发展方向。 关键词：玻璃加工；激光束；电子束；离子束 文献标识码：A 中图分类号：TQl71．6+8 of Beams ApplicationHighIntensity forGlass Processing WANG Cheng—yul，LISong—ji2，TAOYin91，ZHZNGXian—gui2 (1．Dalian PolytechnicUnivers@．Dalian116034。CMna； Glass 2．PanyuDalong FactoryCo．，Ltd，Guangzhou511450，China) Abstract：The beams andionbeamshavebeenused hi小intensitye．g．1aser，electron for掣tass as and characteristicsof processing，suchcleaning，polishing，cutting，drillingengraving，ere．The beamsand for werereviewed．Furthermorethe highintensity technologiesglass processing properway to the beam wasdiscussed． intensity develophigh processingtechnology beam Keywords：glassprocessing；laserbeam；electronbeam；ion 1 高能量密度束流的特性 高能量密度束流指功率密度108—109 W／cm2的能源，目前在科研和生产中广泛应用的主要有离子束、 电子柬和激光束u1。高能量密度束流最早是用于金属材料的机械加工，如20世纪30年代，将聚焦的电子束 加工电子显微镜的孔‘“，20世纪60年代激光问世以后，则用激光切割、钻孔口J，20世纪70年代则用离子注 入进行材料改性’“，以后则逐渐应用于玻璃的加工。高能量密度束流具有以下特性： (1)高能量密度束流通过聚焦后，可以将离子束、电子束、激光束以极高的速度冲击到玻璃表面上，使微 小面上沉积高能量，进行加工处理，能源
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