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2015-08-17 发布于重庆
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类金刚石膜的制备方法和性能.pdf

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第 23卷第 6期重庆工学院学报( 自然科学) 2009年 6月 Vol. 23 No. 6 Journal of Chongq ing Institute of Technology( Natural Science) Jun. 2009 李雪 ( , 312000) : ( DLC) , , DLC, ( CVD) . : ; ; : TB383. 2 : A : 1671- 0924( 2009) 06- 0165- 07 P reparation M ethod and P erform an ce of DLCF LIXue ( Departm en t of Physics, E lectronics and Inform ation, Shaoxing Un iversity, Shaoxing 312000, China) Abs tract: This paper analyzes the structure, performance and influential factors of d iamondlike carbon ( DLC) film, elaborates its application, and introduces the preparation m ethods of DLC includ ing PCVD m ethod, CCVD method and p lasm astrengthened CCVD. K ey w ord s: DLCF; structure; performance , ), , , , 3 2 . 1971 ( sp sp ) , [ 1] A isenberg Chabot , . , , DLC, . , ( DLC) , , , [ 2] , [ 3- 9] ( . DLC : 2009- 01- 24 : (. : ( 1981 ) , , , . 166 重庆工学院学报 , , , , 21 . 1 DLC 3 , sp 3 2 图 1 sp , sp 和H 成分组成的DLC三元相图