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高效能的HIT太阳能电池研究 刘绍欢 国电光伏（江苏）有限公司 江苏（宜兴） Abstract: Heterojunction with Intrinsic Thin Layer (HIT) 摘要：本征薄层异质结HIT(Heterojunction with Intrinsic solar cells have combinated the characteristics of Thin Layer) 电池结合了非晶硅和单晶硅的特性，具有低 amorphous silicon and monocrystalline silicon solar cells, 温制备工艺，转换效率高，高温特性优异等特点。本文 with low temperature preparation, high conversion 从HIT 太阳能电池的结构和原理出发，探讨其制备工艺。 efficiency and excellent temperature coefficient and so on. 研究其发展历程，讨论提高HIT 太阳能电池效率的有效 From the structure and principle of HIT, the making and 途径。 preparing procedure have been discussed. The ways to 关键词：HIT太阳能电池；非晶硅；单晶硅；效率 enhance the efficiency of HIT solar cell also have been analyzed. Key words: HIT solar cell; amorphous silicon; monocrystalline silicon ; efficiency 使得非晶硅薄膜太阳能电池的应用受到限制。 近几十年来，许多学者和研究人员对本征薄 1. 引言 层异质HIT (Heterojunction with Intrinsic Thin 晶体硅太阳能电池虽具有效率高，技术成熟 Layer) 电池进行了深入的研究。研究表明该类型 等优点。但是由于在制备过程中需要高温扩散， 电池在结合单晶硅和非晶硅材料各自特性的基 这会导致硅晶片的变形和热损伤。所以，通过这 础上，具有如下的性能特性：(1)低温工艺：在低 一工艺制备的晶体硅太阳能电池不仅在生产成 温度环境下(200℃)完成整套制备工艺，避免采 本方面不具优势，而且在转化效率和器件尺寸方 用传统的高温(900℃)扩散工艺来获得PN结，减 面也受到负面影响。相反，非晶硅薄膜太阳能电 少了热负载。在节约能源成本的同时,使得非晶硅 池在这些方面和前者形成了鲜明的对比，它具有 （a-Si）薄膜掺杂、禁带宽度和厚度可以得到较 重量轻，工艺简单，成本低和耗能少等优点。但 精确控制。此外，器件特性在工艺上更易于得到 是由于非晶硅缺陷较多，导致了其转换效率低， 优化。(2)高效率：通过插入高质量的本征非晶单 并且随着光照的时间其转换效率会不断下降，这