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2015-08-13 发布于重庆
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用于表面微观形貌测量的光学方法.pdf

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2005 39 11 71 冯斌王建华 : , , : , , Optical Means used in Measuring Surface Microtopography Feng Bin Wang Jianhua Abstract: The optical means used in measuring surface topography are introduced. The principle, property, good quality and shortcoming of these optical methods are analy ed and the development direction of optical means used in surface topography mea- surement is commented. Keywords:surface microtopography, optical means, measuring 1 2 ( Surface Topography) , , , , , [ 2] [ 1] : ; [ 3] , 21 , ( 1) [ 2] , Gary E Sommargren 1981 [ 4, 5] : , , ; , , , [ 6] , , ( He-Ne , He-Ne ) , [ 7] , , ( )