TFTLCD用玻璃基板发展现状及趋势.pdfVIP

维普资讯 全国性建材科技期刊—— 玻《璃》 2006年 第 1期 总第 184期 TFT--LCD用玻璃基板发展现状及趋势 李 超 (中国耀华玻璃集 团 秦皇岛市 066000) 摘 要 阐述了薄膜晶体管型液晶显示器即TFT--LCD的性能和TFT--LCD用玻璃基板的发展现状 ，介绍了这 种玻璃基板的浮法、狭缝下拉法、溢流熔融法等几种生产方法，并展望了TFT--LCD玻璃基板的发展趋势和发 展方 向。 关键词 TFT--LCD 玻璃基板 发展 中圈分类号：TQ171 文献标识码：A 文章编号：1003—1987 I2005)06—0015—04 随着科学技术的进步和信息技术的迅猛发展， 用。虽然玻璃基板 只 占TFT—LCD原材料成本 比 具有质量轻，图像细腻、清晰，色彩丰富、自然、 重的6 左右，但却是晟最重要的元件。TFT— 逼真等优点的薄膜晶体管型液晶显示器 (即TFT LCD生产线更新换代必须以玻璃基板厂家提供新 — LCD)正逐渐取代传统的阴极射线管 (CRT) 一 代生产线所生产的玻璃基板为前提，否则一切都 显示器，预计未来几年将成为显示器的主流产品。 是空谈 。 TFT—LCD是在无碱超薄玻璃上印刷微电子电路 ， 1 TFT—LCD用玻璃基板的发展现状 主要特点是在每个像素 (像素就是一些能够发出彩 色光线的小点)配置一个半导体开关件，每个像素 玻璃基板又称素玻璃，是超薄、超平滑、超精 都是一个相互隔离的独立的晶体管，可以通过点脉 细无碱硅酸铝玻璃，其碱金属总含量要求在 0．1 冲直接控制，因而每个节点相对独立，并可连续控 以下。自上个世纪9O年代 TFT—LCD产业 由Et本 制，这样不仅提高了反应时间 (一般可以达到 8O 第一代产品的生产，发展到 目前康宁公司正在研制 ms左右)，同时在灰度控制上可以做到非常精确， 的第七代产品所使用玻璃基板 已经历了7代 。玻璃 这就是 TFT色彩更为逼真的原因。 基板的切割片数有一个最佳经济值，达到这个值以 TFT—LCD是 由偏光板 、液 晶面板 ，另外再 上意味着较高的生产效率，业界公认的经济切割片 加上背光源组成的。制作一片液晶面板需要两片玻 数是 6，按照玻璃基板尺寸的大小划分生产线属于 璃基板，分别作为底层玻璃基板和彩色滤光片板使 哪一代 (见表 1)。 裹 1 ／ram 目前在商业上应用 的玻璃基板 ，主要厚度为 碱 ；同时考虑重量和厚度 ，玻璃基板必须非常薄 ， 0．7mm或 0．6mm，并且 已经进入更薄厚度 (如 尤其对应大尺寸后 ，玻璃基板如果过厚 ，就会增加 0．4mm)的研制开发阶段。主要应用于液晶桌面 不少重量；玻璃基板要求高透光性，否则影响画面 显示器、笔记本电脑 以及液晶彩电的面板制作中。 质量，所以必须要在无尘室中生产；玻璃基板还要 由于 TFT—LCD模组在制造过程 中需要真空 高平整度 ，其平整度要求 比硅晶圆还要高。鉴于玻 蒸镀与刻蚀，因此玻璃基板必须耐高温、耐强酸强 璃基板生产技术的高度复杂与高深，全世界只有 4