PE每天检查表.xls

Sheet3 Sheet2 Sheet1 设备参数是否有改动??? 高级工程师负责调整 检查并调整 设备安全门是否完好 检修 机台净化台内部5S 清洁 机台净化台风扇是否有异响 查看报警信息是否有不正常操作 联系生产主管宣导并邮件说明 急停按钮是否损坏 更换 机械臂运行是否顺畅平稳 机械臂2轴、3轴线缆是否有烧焦或短路隐患 机械臂盖板是否完好 盖好 检查小车旋转台面是否水平 调整 检查小车位置缓冲杆是否损坏 更换或调节 小车上料位感应器、缓冲器是否正常 调节 小车上料等待位置sensor是否有效 调节或更换 桨位置是否水平 不水平调节 桨的位置螺丝螺母是否紧固（每周确认一次） 进行调整 石英管口是否有缺口及隐裂 进行保压，压力异常更换 炉口处是否有大量碎片 联系生产人员清理 炉门开关是否顺畅、异响 炉体加热线缆是否烧焦 确认高频电源功率是否正常 高频输出线是否破损、松动现象 更换、紧固 角阀动作是否有异响 清理角阀 电磁阀气管是否损坏迹象 检查干泵运行是否异响 干泵工作的功率是否正常 干泵工作的参数是否在范围内 不在请调整 干泵冷却水流量是否在范围内 尾排管道卡箍是否紧固 紧固 干泵吹扫N2流量检查在范围内 机台冷却水流量检查 3.5±0.3L\min 机台冷却水压力检查 3.5±0.5mbar 特气柜NH3、SIH4、N2压力是否正常? 高级工程师负责调整 特气柜NH3、SIH4、N3各支路电磁阀是否有异常声音? 高级工程师负责调整 检查并调整、更换 深圳市捷佳伟创微电子设备有公司 2010.00 13.00 14.00 15.00 16.00 17.00 18.00 19.00 20.00 21.00 22.00 23.00 24.00 25.00 26.00 27.00 28.00 29.00 30.00 31.00 32.00 33.00 34.00 35.00 36.00 37.00 38.00 39.00 40.00 41.00 42.00 43.00 44.00 45.00