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小流量MFM MFC 产品介绍
SIERRA INSTRUMENTS, U.S.A. SIERRA INSTRUMENTS, EUROPE SIERRA INSTRUMENTS, ASIA
Corporate Headquarters Bijlmansweid 2 Rm.618, Tomson Centre Building A,
5 Harris Court, Building 1934 RE Egmond a/d Hoef 188 Zhangyang Rd., Pudong New
L Monterey, CA 93940 The Netherlands District, Shanghai,P.R.China 200122
(831)373-0200 +31 72 5071400 Tel: 86-21-5879-8521/8522
Tel: (800)866-0200 Tel: +31 (0)72-5071400 Fax: 86-21-5879-8586
MFM/MFC Introduction
Sierra 微管式质量流量计/质量流量控制器的介绍及学习
本篇文章主要目的是为帮助 SIERRA 代理及客户更好地了解 MFM/MFC
和在选购产品时要注意些什么问题.如何正确使用 SIERRA 质量流量计/
质量流量控制器产品.下面详细通过有关工作原理和应用工况方面的问
题一一讨论.如有错漏之处.恳请各代理商或朋友指正.
1. 质量流量计/质量流量控制器的含义
Sierra Instruments Inc.美国斯亚乐仪表公司一直秉承 The mass flow
company 的口号致力于质量流量计/质量流量控制器的研究开发.新推出
的 Max-trak 获得了 2006 Gases Technology Product Innovation
Awards(气体控制类产品革新奖)
英文 Mass flow meter (缩写 MFM), 中文翻译为质量流量计.是一种精
确测量气体质量流量的仪表.其测量值不因压力或温度的波动而失准.是
一种直接质量流量测量原理的流量计.
英文 Mass flow controller (缩写 MFC), 中文翻译为质量流量控制器.
它可自动控制气体的流量.用户可以根据自己的需要进行流量的设定.控
制器的电磁阀自动控制输出恒定的质量的气体.即使系统压力或环境温
度变化也不会使其偏离设定的值.Sierra 810 和 C100 都可进行内部或外
SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122
美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188 号汤臣中心 A 座 618 室,中国 200122
Tel: 86218522 Fax: 8621Email: info@ Web:
SIERRA INSTRUMENTS, U.S.A. SIERRA INSTRUMENTS, EUROPE SIERRA INSTRUMENTS, ASIA
Corporate Headquarters Bijlmansweid 2 Rm.618, Tomson Centre Building A,
5 Harris Court, Building 1934 RE Egmond a/d Hoef 188 Zhangyang Rd., Pudong New
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