呈矩形排列的四探针磁电阻测试仪.pdfVIP

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2015-07-24 发布于安徽
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呈矩形排列的四探针磁电阻测试仪.pdf

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四探针方法方便、重复性好，特别是无需破坏薄膜的特点．我们甩此方案研制的的测试仪共有五部分：1)由Helmholtz Oe)并能围绕样品旋转的均匀线圈组成的连续可调的(O-lOO 磁场及其电源部件：2)恒流源及可调倍率的岗倍放大器；3) 输出显示部件；4)磁场显示部件：5)微型呈矩形排列的四 m，椿针探针部件(探针直径：O2mm，探针阗短(长铀)：I 间矩(短轴)：0．5mm．磁电阻测试仪结构见(图一)．由本测试仪直接对溅射到30mmx40mm玻璃片上的磁电阻薄膜0qi“Fe。毋进行磁电阻变化率的测试，其测试结果和采用致、见(表光刻的方法制成1009m×5p．m窄条的测试结果非常～)．(图二)是用光刻的方法制成的磁电阻窄条的放大照片．实验表明呈矩形排列的四探针磁电阻测试仪方案是可行的．本项工作获得国家自然科学基金的支持，并对英国plymouth 大学潘根华博士、本课题组熊鑫思教授，芦咏烈高工、王振华、壬宝山技师和高静然小姐给予的邦助表示感谢·! 一】为磁场线脚和电琢 2为恒流掘及放大器 k． 3为输出显示．，／7 4为磁场显示＼ H5为撵针部件 }＼图一、磁电阻测试仪图二，光刻法制成的磁电阻窄条照片表一、测试结果序号膜厚用本仪器测在光刻条上 No (A) 的AO／00(％)测的△p‰．(％) 1548 1000 2、9 2，88 1551 1000 3l 3D6 1565 500 27 275 1566 500 2，6 266 参考文献：【IJ RobertHNorton，IEEETrans．曲Mag，Vo!MAG一19．pp1579—1580，1983 呈矩形排列的四探针磁电阻测试仪作者：方光旦，刘镜周作者单位：方光旦(科学院计算技术研究所(北京))，刘镜周(科技大学) 引用本文格式：方光旦.刘镜周呈矩形排列的四探针磁电阻测试仪[会议论文] 1998