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射频等离子体鞘层动力学模型_戴忠玲.pdf

50 12 2001 12 Vol. 50, No. 12, December, 2001 1000-3290200150( 12)2398-05 ACTA PHYSICA SINICA 2001 Chi . Phys. Soc. * 戴忠玲 王友年 马腾才 ( , 116024) ( 2001 5 15 ; 2001 6 12 ) . : , , ; , . . , , . : , , , PACC: 5265, 5240, 5225 [ 6] 1 引 言 .Metze . , , . , Lieberma [ 7] , [8] , Godyak Ster berg [ 1, 2] , [ 3 5] . , , . , , Edelberg Aydil[ 9] . , Boltzma , ( RF) , . , . , . , , , . Miller . Riley[ 10] , , , [11] . . , Bose , , , . , . , . , , , , . , . , . , , , * ( : . 12 : 2399 ; ,

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