长波InAs0.04Sb0.96材料的结构和p-n结特性研究.pdfVIP

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2017-08-10 发布于安徽
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长波InAs0.04Sb0.96材料的结构和p-n结特性研究.pdf

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，r十五屠全国化合物半导r体、徽渡量I件和光电器件学术会议广州’08 P045 长波InAso．04Sbo．96材料的结构及p-n结特性研究高玉竹1，龚秀英1，方维政2 (1同济人学电子与信息工程学院，上海201804) (2中国科学院上海技术物理研究所，上海200083) 不同生长条件对lnAs004Sbo96外延层结晶质量的影响。结果表明，外延层的结晶质量与牛长时的降温过程以及生长舟滑块的重量密切相关。采用60克重的滑块和0．50C／分的降温速度获得了最佳的结晶质量。用傅里叶红外光谱仪测量了外延层的透射光谱，首次观察到藿量不同的滑块下生长的lnAso．04Sbo96外延层的截If：波长的变化，这归冈于不同滑块引起的外延层能带弯曲参数的变化。用液相外延(LPE)法在InAso04sb0 曲线显示出了结的整流性质，从而为制作长波InAsSb红外探测器打下了基础。关键词：熔体外延，InAsSb，结构性质，透射，禁带宽度，p-n结中图分类号：0612．5 文章标识码：文章编号 +国家自然科学基金资助项目(批准号 for ACharacteristicofStructureand Junction Study P--n InAso．04Sbo．96 Long-wavelength YuzhuGao 1，Weizheng 1，XiuyingGong Fan92 Institute ShanBeiYi Zhong Road,Shanghai200083,China) 2．ShanghaiofTechnicalPhysics,ChineseAcademyofSciences,420 of11-12is studied Abstract：Thestructural formelt InAso cutoffwavelengthsp．m usingX—ray property epitaxialgrown 04Sb096with influenceof onthe isstudied．The different conditionsInAs004Sbo．96crystallinequality diffraction(XRD)measurements．Thegrowth thatthe of tothe rateandthe ofthemeltholder．The resultsshowed crystalline is related weight qualityepilayersstrongly cooling best are 60 a rateof0．50C／rain．The with