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磁悬浮转子微陀螺的设计技术.pdf
第12卷第3期 光学精密工程 V01．12No．3
andPrecision
2004年6月 0ptics Engineering Jun．2004
文章编号1004—924X(2004)03一o001一05
磁悬浮转子微陀螺的设计技术
张卫平，陈文元，吴校生，赵小林，崔 峰，黄晓刚，刘 武
(上海交通大学徼纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
微米／纳米加工技术国家级重点实验室，上海200030)
cr0EIectronicMechanical
原理，并给出了相应的微转子、定子悬浮线圈、旋转线圈、稳定线圈、传感电极的设计原则和方法。设计了一个转子直径
2200 MHz的微陀螺，解决了
pm、厚度25pm，定子线圈线宽10肛m、厚度5pm，悬浮励磁频率10MHz、旋转励磁频率2
三维非硅准LiGA技术加工微陀螺中的引线、绝缘、摩擦柱成型问题，并进行了相关的陀螺悬浮旋转试验，该陀螺在空气
环境下能够以1000r／min旋转，悬浮高度200肛m，说明这种陀螺的原理和设计方法是可行的。
关键词：磁悬浮转予微陀螺；MEMS；设计；准LiGA技术；试验
中圈分类号：0318文献标识码：A
onmicromachinedwith
Design gyroscope
rotor
electromagneticleVitating
ZHANG Wen-yuan，WUXiao—sheng，
Wei—ping，CHEN
ZHAO Wu
Xiao—lin，CUI
Feng，HUANGXiao_gang，LIU
(K已yL口6Dr口￡o，≯D，了Ⅵ主竹FfZ，扎口竹dMifro—j己26rfc口￡主o，z丁■c九扎oZogyo，Ed“c口￡fonM主，zis￡ry
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